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雙拋片:雙面拋光
自1985年以來,Okmetic 持續供應雙(shuang)面拋(pao)光片(pian)(DSP),如今(jin)它們已(yi)經成為(wei)表面 MEMS、封蓋以及(ji)射(she)頻(pin)和功率設備的有益襯(chen)底。我們為(wei)客戶量身定(ding)制(zhi) DSP 硅片(pian),可滿足每個(ge)客戶對工藝(yi)和產品的特定(ding)需求。
對于要求嚴苛(ke)的半(ban)導體器件,Okmetic 是領先(xian)的先(xian)進硅片(pian)供應(ying)商。
從1990年代開始,Okmetic 一直是汽車行業 DSP 硅片的合格供應商。
我們擁(yong)有自主的長晶技術和(he)多(duo)(duo)樣的硅片(pian)(pian)(pian)材料(liao)選擇,有利于(yu)設計(ji)量身定制(zhi)的雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)(pian)(pian)(DSP)解(jie)決(jue)方案,以(yi)滿(man)(man)足(zu)每個客戶對工藝和(he)產品的特定要求(qiu)(qiu)(qiu)。我們的包(bao)含(han)專為滿(man)(man)足(zu)射頻濾波器(qi)和(he)設備(bei)需求(qiu)(qiu)(qiu)的雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)(pian)(pian),包(bao)含(han)為滿(man)(man)足(zu)多(duo)(duo)種功率器(qi)件需求(qiu)(qiu)(qiu)而(er)量身定制(zhi)的中低電阻雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)(pian)(pian)。本頁我們重點介紹(shao)正常電阻范圍的雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)(pian)(pian),主要滿(man)(man)足(zu)表(biao)面(mian) MEMS 和(he)封蓋(gai)的需求(qiu)(qiu)(qiu)。壓力傳感(gan)器(qi)、加(jia)速度計(ji)和(he)陀(tuo)螺(luo)儀等多(duo)(duo)種 MEMS 設備(bei)通(tong)常使用雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)(pian)(pian)或單拋(pao)(pao)(pao)片(pian)(pian)(pian)做襯底,但(dan)從(cong)成本效益角度考慮,的使用需求(qiu)(qiu)(qiu)正在增加(jia)。
出色的厚度均勻性和晶向精度
Okmetic 的(de)豐富經驗和專(zhuan)業知識確保(bao)我們的(de)雙(shuang)拋片具有出色的(de)厚(hou)度(du)均勻性(xing)和晶向精度(du),以(yi)及一流的(de)晶體質量和同質性(xing)。此外,我們多樣的(de)硅(gui)片參數選擇可實(shi)現(xian)高度(du)定制(zhi)的(de)雙(shuang)拋片解決方案,以(yi)滿(man)足(zu)各種設備需求(qiu)。
我(wo)們的(de)(de)(de)雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)是雙(shuang)(shuang)面光刻(ke)的(de)(de)(de)出色襯底(di)。Okmetic 優化了(le)處理(li)薄雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)的(de)(de)(de)速度(du)(du),更(geng)快的(de)(de)(de)速度(du)(du)為成(cheng)本和(he)(he)質量都(dou)帶來(lai)了(le)益處。Okmetic 的(de)(de)(de)雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)也被(bei)廣泛(fan)用于陽極、共晶、熔合和(he)(he)玻璃(li)料鍵(jian)合的(de)(de)(de)封蓋硅片(pian),因為它能(neng)夠出色地實現 MEMS 結構的(de)(de)(de)鍵(jian)和(he)(he)強度(du)(du)和(he)(he)氣(qi)密(mi)密(mi)封。針對體微加工(gong)和(he)(he)堿刻(ke)蝕(如 KOH 和(he)(he) TMAH),經過優化的(de)(de)(de)雙(shuang)(shuang)拋(pao)(pao)(pao)片(pian)確保了(le)傳(chuan)感元件的(de)(de)(de)高精度(du)(du)、穩(wen)定質量和(he)(he)有效的(de)(de)(de)加工(gong)工(gong)藝(yi)。
Okmetic 有多種150至200毫米(mi)的雙拋片(pian)(pian)可供選擇(ze)。硅片(pian)(pian)摻雜劑包括砷、磷和硼(peng)。晶向(xiang)選擇(ze)為 <100>、<110>、<111> 或偏(pian)向(xiang)。厚度范(fan)圍從380至 >1150微米(mi),電阻率范(fan)圍從 < 0.001 至 > 7,000歐姆-厘米(mi)。
雙拋片:雙面拋光
雙拋片:雙面拋光
雙拋片規格
長晶方式 |
Cz, MCz, A-MCz® |
直徑 |
150 mm, 200 mm |
晶向 |
<100>, <110>,<111>或偏向 |
N 型摻雜劑 |
砷、磷 |
P 型摻雜劑 |
硼 |
電阻率 |
從 < 0.001 至 > 7,000歐姆-厘米,工程超高阻片可達到10000歐姆-厘米的電阻率 |
厚度 |
150毫米硅片的厚度為380 – 1150微米;200毫米硅片的厚度為380 – 1150微米* |
厚度公差 |
±5微米(要求更高的器件的公差為 ±3微米) |
TTV |
<1微米 |
晶向精度 |
±0.2° (要求更高的器件的精度為 ±0.1°) |