概述

電阻率(lv)是(shi)決定半導(dao)體(ti)材(cai)料電學特性的重要參數，為(wei)了表征工藝質量(liang)以(yi)及(ji)材(cai)料的摻雜情況(kuang)，需要測(ce)(ce)試材(cai)料的電阻率(lv)。半導(dao)體(ti)材(cai)料電阻率(lv)測(ce)(ce)試方法有(you)很(hen)多種，其中四(si)探針法具有(you)設備簡單、操作(zuo)方便、測(ce)(ce)量(liang)精度(du)高(gao)以(yi)及(ji)對(dui)樣(yang)(yang)品形(xing)狀無嚴格要求的特點。因此(ci)，目前檢測(ce)(ce)半導(dao)體(ti)材(cai)料電阻率(lv)，尤其對(dui)于薄膜(mo)樣(yang)(yang)品來(lai)說，四(si)探針是(shi)很(hen)常用的方法。

英(ying)鉑科學儀器的(de)四探針法測(ce)量半導體電(dian)阻率的(de)測(ce)試方案，采用美國吉時(shi)(shi)利(li)公司的(de)高精度(du)源表(SMU)，可(ke)(ke)以(yi)在輸出電(dian)流時(shi)(shi)測(ce)試電(dian)壓(ya)，也(ye)可(ke)(ke)以(yi)在輸出電(dian)壓(ya)時(shi)(shi)測(ce)試電(dian)流。輸出電(dian)流范圍從皮安級到安培級可(ke)(ke)控，測(ce)量電(dian)壓(ya)分辨率高達微伏級。支持四線開爾文(wen)模式，適用于四探針測(ce)試，可(ke)(ke)以(yi)簡(jian)化(hua)測(ce)試連接，得到準確(que)的(de)測(ce)試結果。

上(shang)位機軟件(jian)CycleStar指導電阻率測(ce)試(shi)步驟，測(ce)試(shi)方法清(qing)晰明確，即使(shi)不(bu)熟練的(de)工程師也(ye)能迅速(su)掌握測(ce)試(shi)方法。

內置(zhi)電(dian)(dian)阻(zu)率計算公(gong)式，測(ce)試結(jie)束后直接(jie)從電(dian)(dian)腦端讀取計算結(jie)果，方便(bian)靈活的(de)做(zuo)后續處理分析(xi)系(xi)統主要由源測(ce)量單元、探針臺和上位機軟(ruan)件組(zu)成。四探針可以通過(guo)前面板香蕉頭或者后面板三同(tong)軸接(jie)口連(lian)接(jie)到源表上。