概述

電(dian)阻率(lv)是決定半導(dao)(dao)體材(cai)(cai)料電(dian)學特(te)性(xing)的重要參數(shu)，為了表征工(gong)藝質量以及材(cai)(cai)料的摻(chan)雜(za)情(qing)況，需要測試(shi)(shi)材(cai)(cai)料的電(dian)阻率(lv)。半導(dao)(dao)體材(cai)(cai)料電(dian)阻率(lv)測試(shi)(shi)方法有很(hen)多(duo)種，其中四探針法具有設備簡單、操作方便、測量精(jing)度高以及對樣品(pin)形(xing)狀(zhuang)無嚴格要求的特(te)點。因此，目前檢測半導(dao)(dao)體材(cai)(cai)料電(dian)阻率(lv)，尤其對于薄膜樣品(pin)來(lai)說，四探針是很(hen)常用的方法。

英鉑(bo)科學(xue)儀(yi)器(qi)的(de)四探針法測(ce)(ce)量(liang)半(ban)導體電(dian)阻率的(de)測(ce)(ce)試(shi)方(fang)案，采用(yong)美國(guo)吉時利公(gong)司的(de)高(gao)精度源(yuan)表(SMU)，可以在輸出電(dian)流(liu)時測(ce)(ce)試(shi)電(dian)壓(ya)(ya)，也可以在輸出電(dian)壓(ya)(ya)時測(ce)(ce)試(shi)電(dian)流(liu)。輸出電(dian)流(liu)范(fan)圍從(cong)皮安(an)級(ji)到安(an)培(pei)級(ji)可控，測(ce)(ce)量(liang)電(dian)壓(ya)(ya)分辨率高(gao)達微伏(fu)級(ji)。支持四線開爾文模式，適用(yong)于四探針測(ce)(ce)試(shi)，可以簡化測(ce)(ce)試(shi)連(lian)接，得到準確的(de)測(ce)(ce)試(shi)結果。

上位機軟件CycleStar指導電(dian)阻率測試(shi)(shi)步驟，測試(shi)(shi)方法清晰明確(que)，即使(shi)不熟練(lian)的(de)工程師也(ye)能(neng)迅速掌握測試(shi)(shi)方法。

內置電(dian)阻率(lv)計(ji)算(suan)公式，測(ce)試結束后直接從(cong)電(dian)腦端讀取計(ji)算(suan)結果，方(fang)便靈(ling)活(huo)的做后續處理(li)分析系統主要由(you)源(yuan)測(ce)量單元、探針臺和上位機(ji)軟件組成。四探針可以通(tong)過前面板香蕉(jiao)頭或者(zhe)后面板三同軸接口連(lian)接到源(yuan)表上。