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納米探針臺
產品概要:
超緊湊的迷你探測平臺可以安裝多達8個測試探針,搭配微型機械手以及三軸子工作臺。
多大27個軸中的每一個都可以定位精度極高,探頭的Z驅動器向上擺動90°,極大限度滿足測試樣品以及快速尖端交換。
微操作器都配有一個低噪聲三軸連接器,用于測量低電流。
整個平臺可以放置于6英寸負載鎖引入SEM或SEM/FIB的真空室,從而獲得更精準測試數據結果。
基本信息:
納米探測面臨的挑戰
1、定位精度
2、安全(軟)著陸接觸
3、具有適當尖端半徑的可靠探針頭
4、清潔環境:試驗箱、樣品、探針頭
5、振動敏感性低
6、噪聲抑制
7、漂移補償
8、電路編輯/延遲:在FIB角度操作(zuo)
技術優勢:
電流成像
快速(su)圖(tu)像采集(每幀約5秒);不需要更(geng)容易(yi)控(kong)制的反(fan)饋(kui);原位(wei)應用(yong)(yong),掃描電鏡可以用(yong)(yong)來確定投資回報率(lv);與標準鎢探針頭配(pei)合使用(yong)(yong);picoamp分辨率(lv),識(shi)別泄漏;污染物(wu)清除(chu)。
高級探測
適應您對工作流程的快速理解;相關的光鏡和電子顯微鏡,EBIC/EBAC,電流成像-獲得整個圖像;快速發現故障(開路、短路、連接泄漏、晶體管故障等)
應用方向:
用于(yu)直(zhi)觀、原位(wei)、低電流電性能測量,在掃(sao)描電鏡的真空腔室中,在納米尺度對樣(yang)品進行觀察和表征分析。