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Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀
產品概要:
KOSAKA ET200A是KOSAKA新推出的(de)經(jing)濟型(xing)(xing)臺(tai)(tai)式(shi)兩用機(ji)型(xing)(xing):6寸臺(tai)(tai)階儀(支(zhi)持升級到(dao)8寸載物(wu)臺(tai)(tai))和(he)粗糙度(du)輪廓(kuo)儀。可根(gen)據(ju)用戶需求任意(yi)組合,是一款帶(dai)有專用控(kong)制器(qi)的(de)高精(jing)度(du)、高性(xing)能(neng)的(de)表(biao)面粗糙度(du)測(ce)量儀器(qi)。
基本信息:
極佳重復性與線性度
采用直動式檢測方式,可(ke)(ke)避免(mian)圓弧補(bu)正誤(wu)差,可(ke)(ke)避免(mian)Bearing間(jian)隙誤(wu)差;臺階(jie)測定重復性:1σ 0.2nm以內,但(dan)實際可(ke)(ke)達0.1nm;Z方向線性度為±0.25% (樣品(pin)厚度> 2000A);5A (樣品(pin)厚度≤2000A)
直動式檢出器構造
直動式檢出器測量邊沿效應
重復測量數據 (10 times)
Taylor Hobson 標準樣
直動式檢出器測量邊沿效應
VLSI SHS-9400QC
VLSI SHS-440QC
實時監控測量位置
超高直線度國際認證數據
位移光柵尺與時間取樣
形狀及粗度解析
粗度規范對應:可對應各種國際新舊標準規范,測量(liang)參數(shu)多達60種;可測量(liang)臺階及傾斜(xie)度。
超大測定力范圍
測定(ding)力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意設定(ding)可測定(ding)軟質(zhi)材料(liao)面,如:COLOR FILTER、SPACER、PI等(deng)。
觸針保護蓋板及方便更換
技術優勢:
1、設(she)備主體花(hua)崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震
2、獨特(te)的直(zhi)動式傳感器設計
3、Z方向重復(fu)性1σ 0.2nm以內,但(dan)實際(ji)可達0.1nm
4、Z方(fang)向線(xian)性(xing)度(du)為(wei)±0.25% (樣品厚度(du)> 2000A);5A (樣品厚度(du)≤2000A)
5、樣(yang)品(pin)臺的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全量(liang)程0.2um/100mm
6、高精(jing)度的X方向(xiang)(xiang)位移光柵(zha)尺(chi)控制(zhi),X方向(xiang)(xiang)測(ce)量長度大至100mm,Y方向(xiang)(xiang)可移動150mm
7、自帶三維測量功能(neng)
應用方向:
主(zhu)要(yao)用于平板(ban)顯(xian)示(shi)器、硅片、硬盤等的(de)微細(xi)形狀臺階/粗度(du)(du)測定,對多(duo)種零件表面(mian)的(de)粗糙度(du)(du),波(bo)紋度(du)(du)以及原始輪(lun)廓進行多(duo)參(can)數評定,另外也可利用微小測定力來對應軟質樣品(pin)表面(mian)測定。
Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀
產品結構:
花崗巖低重心設計:
Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀
線性度:
Vertical linearity(垂(chui)直線性度) : ±0.25% (樣(yang)(yang)品(pin)(pin)厚(hou)度> 2000A);5A (樣(yang)(yang)品(pin)(pin)厚(hou)度≤2000A)
線性(xing)度計算公式(shi): 誤差范(fan)圍 / Z方(fang)向測量范(fan)圍
測量(liang)設(she)備型號 : ET-150系列
測(ce)試樣(yang)品(pin)為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認證的(de)標準(zhun)樣(yang)品(pin)
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm
高分辨率:
超高垂直直線度:
垂直(zhi)(zhi)直(zhi)(zhi)線(xian)度:任(ren)何(he)直(zhi)(zhi)線(xian)垂直(zhi)(zhi)方向上的偏移量稱為垂直(zhi)(zhi)直(zhi)(zhi)線(xian)度
可追(zhui)溯(su)性(xing):通(tong)過(guo)ISO9000國際認證,可追(zhui)溯(su)NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產品(pin)出(chu)廠皆有出(chu)廠測試(shi)認證報告
超高垂(chui)直(zhi)直(zhi)線度(du)(du)(du)精(jing)度(du)(du)(du)保證: 局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;可測定(ding)樣(yang)品(pin)的平面度(du)(du)(du)、波紋度(du)(du)(du)、翹(qiao)曲度(du)(du)(du)、內應力
測量效果:
設備(bei)主體花崗(gang)巖,低(di)熱膨脹,低(di)重心,自隔震;測(ce)量(liang)穩定(ding)性和設備(bei)穩定(ding)、耐(nai)用(yong)性較好;直動(dong)式檢(jian)測(ce)器;測(ce)量(liang)重復性&線性度(du)較好,確(que)保各樣(yang)品(pin)臺階測(ce)量(liang)的精(jing)度(du)、準確(que)度(du);樣(yang)品(pin)臺超高(gao)的垂直直線度(du)保證(zheng);進一步(bu)提(ti)高(gao)臺階測(ce)量(liang)精(jing)度(du),確(que)保樣(yang)品(pin)形狀不變形;樣(yang)品(pin)臺X方向光柵尺定(ding)位,最長測(ce)量(liang)距(ju)(ju)離(li)100mm,測(ce)量(liang)速度(du)可快至5μm/s;樣(yang)品(pin)周(zhou)期性結構不失真(zhen),長距(ju)(ju)離(li)有利于測(ce)定(ding)多種(zhong)國際參數。