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Elite Etch Cu 化學開封機
產品概要:
RKD的(de)Elite Etch Cu是一臺可(ke)為銅線開封(feng)的(de)化學開封(feng)機,通(tong)過(guo)集成(cheng)了先進的(de)特(te)點來(lai)實現更高的(de)產能。這臺開封(feng)機可(ke)以通(tong)過(guo)將(jiang)精密分配微等分的(de)硝酸(suan)、硫(liu)酸(suan)或混酸(suan)到樣品器(qi)件上,可(ke)開封(feng)直徑為0.8mil銅線的(de)塑封(feng)料(liao)。
基本信息:
每一次微等分的(de)(de)(de)(de)(de)(de)酸(suan)被輸(shu)送到刻蝕腔(qiang)內,由于泵產生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)足夠(gou)大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)壓力將會創造出非常大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)湍流,可以極大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)提高封(feng)裝材料的(de)(de)(de)(de)(de)(de)去除效率(lv)(lv)。對酸(suan)溫度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)密(mi)控(kong)(kong)制(zhi),并結合(he)更高的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分配效率(lv)(lv)使得對于銅線(xian)器件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)開封(feng)不會產生引線(xian)或金屬化(hua)損傷。特(te)殊設計(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)酸(suan)熱交(jiao)換器能夠(gou)在高達8ml每分鐘的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流量內精(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)確將酸(suan)溫度控(kong)(kong)制(zhi)在10℃到250℃范圍內。即使是在低溫度時,高的(de)(de)(de)(de)(de)(de)酸(suan)脈沖率(lv)(lv)也能獲得合(he)理(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)刻蝕時間。
技術優勢:
Elite Etch Cu配置了一個酸(suan)(suan)控制(zhi)器(qi)刻(ke)蝕頭,它是由優(you)質碳(tan)化(hua)硅材料制(zhi)造的,具(ju)有(you)很強的耐酸(suan)(suan)性。刻(ke)蝕頭設計(ji)用于降低在開封(feng)工藝結(jie)束時(shi)殘(can)留在刻(ke)蝕頭上殘(can)留酸(suan)(suan)的煙化(hua)現象(xiang),對(dui)于操作(zuo)員更加安全(quan),并(bing)且對(dui)酸(suan)(suan)的清潔也更方(fang)便。器(qi)件壓(ya)制(zhi)組(zu)件(壓(ya)桿芯頭)是氣動激(ji)活(huo)的推(tui)桿,壓(ya)桿芯頭正常(chang)狀態時(shi)縮回,當(dang)安全(quan)罩完全(quan)關閉時(shi)伸出(chu),當(dang)刻(ke)蝕罩蓋下以(yi)后,壓(ya)頭自動從上到下直線(xian)移動,沿垂直方(fang)向直接將固定(ding)樣品或(huo)治(zhi)具(ju)安全(quan)地(di)固定(ding)刻(ke)蝕頭上,可(ke)以(yi)完全(quan)消(xiao)除被刻(ke)蝕器(qi)件和治(zhi)具(ju)的移動。
Elite Etch Cu 在瓶(ping)(ping)子(zi)容(rong)(rong)器和(he)開(kai)封器之(zhi)間的所有(you)流體接口都采用雙重(zhong)密封。瓶(ping)(ping)子(zi)容(rong)(rong)器組件和(he)刻蝕(shi)機內部都配(pei)置了(le)流體傳感(gan)器,如果出(chu)現(xian)任何(he)酸(suan)(suan)瓶(ping)(ping)或內部裝置的酸(suan)(suan)泄漏,都會(hui)立即向(xiang)操(cao)作員發出(chu)漏酸(suan)(suan)警 報。瓶(ping)(ping)子(zi)容(rong)(rong)器采用了(le)通用的旋(xuan)轉互聯,使(shi)得酸(suan)(suan)瓶(ping)(ping)更(geng)換非常簡單,盡量避免接觸殘酸(suan)(suan)。
Elite Etch Cu開封機采用自動高低壓氣體轉換系統和安全蓋內部安全氣壓補充,確保操作員安全,并且更加節省N2氣消耗。設備采用光 纖感應傳感器檢測開封時刻蝕罩蓋上后的密合度。廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)收集(ji)采用(yong)(yong)了獨特(te)的(de)冷卻(que)熱交(jiao)換系(xi)統,可將(jiang)廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)冷卻(que)至90℃及以下,用(yong)(yong)于將(jiang)廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)收集(ji)在(zai)(zai)一個廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)瓶內,而(er)無需兩個廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)瓶以及硝酸(suan)(suan)硫酸(suan)(suan)轉換閥。單(dan)獨的(de)手持式鍵(jian)盤控(kong)制,可以在(zai)(zai)通風廚外面 進行(xing)控(kong)制避免酸(suan)(suan)對控(kong)制面板和電路(lu)的(de)腐(fu)蝕。
應用方向:
這臺開封機可以通過將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上(shang),可開封直(zhi)徑(jing)為0.8mil銅(tong)線的塑封料。