MPI TS150-THZ是(shi)150 mm高頻專用探針臺(tai)，旨在對基板和150 mm晶圓進(jin)行精確分析。TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(bo)(mmW)應(ying)用，例(li)如高達1.5THz的寬(kuan)帶，帶狀波(bo)導(dao)，次THz，負載(zai)牽引(yin)和RF噪聲。它提(ti)供了無與倫比(bi)的功能：

• 無縫(feng)集成任何高達1.5 THz的寬(kuan)帶，差分或寬(kuan)帶擴頻(pin)器

• 出(chu)色的(de)機(ji)械穩定(ding)性和可重(zhong)復(fu)性，結合方便和安全的(de)操作

• 測量(liang)路徑較短(duan)以獲得(de)最佳(jia)的測量(liang)方(fang)向性

卡盤移動系統

TS150-THZ具有10mm的(de)精確卡(ka)盤Z調(diao)整，旨(zhi)在(zai)靈(ling)活(huo)地(di)集成不(bu)同的(de)擴頻器(qi)，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在(zai)同一探頭系統上使用多個彎曲解(jie)決方案進(jin)行設置時(shi)極為有利，可以輕(qing)松快(kuai)速地(di)進(jin)行設置。

MicroPositioners的多種配置

專用且極堅固(gu)的(de)探針壓板設(she)計可(ke)容納兩個(ge)東西(xi)方向固(gu)定的(de)MP80大面積MicroPositioner。 通過將兩個(ge)南北“電橋(qiao)”作為標準(zhun)配置，可(ke)以輕松進行(xing)四(si)端口RF測(ce)量或(huo)DC偏置。

探針座系統

獨特(te)的MP80-DX具(ju)有(you)低至1µm精確的清晰度，搭配三豐數顯千分(fen)尺。

成像系統

可以(yi)選擇單管(guan)MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其(qi)光(guang)學變焦高達12倍(bei)，工作距離超(chao)過45毫米。由于集成測(ce)試頭/調諧(xie)器(qi)固(gu)有的(de)空間限(xian)制，要求與DUT的(de)距離最短，因此這種顯微鏡的(de)體積小，非常(chang)適合(he)RF和mmW應用。

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