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TS150-HP & TS200-HP
產品概要:
MPI TS150-HP和TS200-HP探針系(xi)統提供了完整的150mm和200mm晶圓(yuan)上解決方案(an),可在較(jiao)寬的溫度范圍(wei)內(nei)實(shi)現功(gong)率半導體的低接(jie)觸(chu)電阻(zu)測量(liang)。
基本信息:
空氣軸承
MPI獨特的(de)(de)氣墊載(zai)物臺設計,具(ju)有(you)MPI獨特簡單的(de)(de)單手快速移(yi)動(dong)控制,為快速的(de)(de)XY導航和晶(jing)圓(yuan)裝(zhuang)載(zai)提(ti)供了很(hen)強(qiang)的(de)(de)操作便(bian)利性,同(tong)時又具(ju)有(you)額外精密的(de)(de)25x25mm的(de)(de)XY-Theta千分尺機(ji)芯,提(ti)供更(geng)精準的(de)(de)定(ding)位(wei)能力。
卡盤系統
MPI提(ti)(ti)供高(gao)(gao)達10KV同軸(zhou)、600A的卡盤選件,電磁屏蔽(bi)和工(gong)作臺電弧(hu)屏蔽(bi)ArcShieldS設計為提(ti)(ti)高(gao)(gao)電壓(ya)量測(ce)提(ti)(ti)供安全(quan)防護。
高電壓/大電流/超大功率探頭
MPI高(gao)功(gong)(gong)率探(tan)測(ce)解決(jue)方案包括專用(yong)的(de)高(gao)壓(ya)、大電流和(he)超(chao)大功(gong)(gong)率探(tan)頭。MPI的(de)高(gao)壓(ya)探(tan)頭能高(gao)壓(ya)測(ce)試期間(jian)進行低(di)泄漏電流測(ce)量,測(ce)試高(gao)達3kV的(de)三軸(zhou)(zhou)或5 kV和(he)10kV的(de)同軸(zhou)(zhou)設置。HCP使(shi)用(yong)MPI專有(you)的(de)多觸點尖端來降低(di)接觸電阻(zu),以進行高(gao)達600A的(de)超(chao)高(gao)電流測(ce)量。UHP探(tan)頭兼具這(zhe)兩種功(gong)(gong)能,并且無(wu)需(xu)為高(gao)壓(ya)和(he)高(gao)電流應用(yong)更換探(tan)頭。
屏蔽系統
標準的手動高功(gong)率(lv)探頭系統配置(zhi)有暗(an)箱(xiang)或紅外(wai)激光光幕,可以提(ti)供用于安全(quan)和EMI屏蔽(bi)功(gong)能(neng)(neng)的互鎖,且能(neng)(neng)夠確保(bao)低噪聲(sheng)、準確和安全(quan)的測量。
儀器集成
TS150-HP / TS200-HP可以配(pei)置各種儀(yi)器連接(jie)套件,其(qi)中包括必(bi)要的(de)高壓/大電(dian)流探(tan)頭和(he)電(dian)纜附件,以便連接(jie)至測(ce)試儀(yi)器,例如Keysight B1505(3kV或(huo)10kV)或(huo)Keithley 2600-PCT-XB,包括集成的(de)8020大功(gong)率接(jie)口面(mian)板。
技術優勢:
1、單機多應用設計
2、通用于高功率器件(jian)量測和晶圓級測試應用,如組件(jian)特(te)性描(miao)述和建模,晶圓級可靠性(WLR)、失效分(fen)析 (FA)、集成電(dian)路工程、微型機電(dian)系統 (MEMS)工效學與安全設計
3、方便單手操作的(de)快速釋放拖移(yi)氣浮(fu)載物臺設(she)計(ji)
4、堅固(gu)且可(ke)乘載多達 10 支(zhi)高電(dian)壓(ya) HV 或 4 支(zhi)大(da)電(dian)流HC 微定位器(qi)的工作臺(tai)
5、電磁屏蔽箱(xiang)和工作臺電弧屏蔽 ArcShieldTM設計,為(wei)高(gao)電壓量測提(ti)供(gong)安全(quan)防(fang)護
6、支(zhi)持(chi)較寬的溫度范圍:20℃至300℃
應用方向:
MPI大功率器件(jian)表征系統是專門為晶圓(yuan)上大功率器件(jian)測(ce)試而設計的。