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TS2000-DP Probe System
產品概要:
TS2000-DP是MPI提供一(yi)套多功(gong)能且經濟高效的8寸半(ban)自動(dong)高功(gong)率測(ce)(ce)試探針臺,可在20°C至300°C的溫度范(fan)圍內進行(xing)晶(jing)圓(yuan)載片上(shang)高功(gong)率應用(yong)的測(ce)(ce)量(liang),且測(ce)(ce)量(liang)能力(li)高達3kV(三軸)/10kV(同軸)和(he)600A(脈沖)。
基本信息:
探針卡和微型定位器
TS2000-DP可提供最高(gao)12倍(bei)的(de)高(gao)壓(最高(gao)3kV三(san)軸或10kV同軸)或4倍(bei)的(de)多手指高(gao)電流(最高(gao)400A的(de)微型定位(wei)器)。其具有的(de)大量(liang)單探頭,專用于防(fang)電弧(hu)高(gao)功率(lv)(lv)探針卡的(de)的(de)探針卡夾,使得該系統(tong)成(cheng)為高(gao)功率(lv)(lv)設備特(te)性測量(liang)的(de)理想選擇。
防電弧技術
該系統(tong)配備了ArcShield™,可(ke)(ke)防止卡(ka)盤和探(tan)(tan)針壓(ya)板之間發生任何(he)可(ke)(ke)能的電(dian)弧(hu)(hu)(hu)。防電(dian)弧(hu)(hu)(hu)探(tan)(tan)針卡(ka)具有在DUT周圍(wei)施加高壓(ya)的能力(li),并且可(ke)(ke)以使用(yong)帕申(shen)定(ding)律來防止焊盤之間產生電(dian)弧(hu)(hu)(hu)。特別設計的防電(dian)弧(hu)(hu)(hu)LiquidTray™只需將其放在高功(gong)率卡(ka)盤表面(mian)即可(ke)(ke)用(yong)于抑制(zhi)電(dian)弧(hu)(hu)(hu)。晶(jing)圓可(ke)(ke)以安全地放置在托盤內(nei),以浸沒在液(ye)體中進(jin)行無電(dian)弧(hu)(hu)(hu)高壓(ya)測試(shi)。此卡(ka)盤可(ke)(ke)在300°C最高可(ke)(ke)達10kV(同(tong)軸)。
儀器集成
TS2000-DP可以配置多種(zhong)儀器(qi)(qi)連接套件,其中包括必要的高(gao)壓/大電(dian)(dian)流探頭和電(dian)(dian)纜附件,以便與(yu)測試(shi)儀器(qi)(qi)進行最佳連接,例如Keysight B15005(3kV或(huo)10kV),包括集成的模塊選(xuan)擇(ze)器(qi)(qi)或(huo)Keithley 2600-PCT-XB,以及集成的8020高(gao)功率接口面板。
軟件套件SENTIO®
MPI自(zi)動(dong)(dong)工程探(tan)針系統由獨(du)特的、革命性(xing)的多點觸(chu)摸操(cao)作控(kong)制(zhi)SENTIO® 軟(ruan)件套件——簡單(dan)直觀的操(cao)作節(jie)省(sheng)了(le)大量的培訓時(shi)間(jian)。“滾動(dong)(dong)”,“縮放”,“移(yi)動(dong)(dong)”命令模仿了(le)現代智(zhi)能移(yi)動(dong)(dong)設備,使每個(ge)人(ren)都可以在(zai)短(duan)短(duan)幾分鐘內成(cheng)為專家。在(zai)活動(dong)(dong)應(ying)用(yong)程序與其(qi)余APP之間(jian)的切換(huan)僅需簡單(dan)的手指操(cao)作即可。對于(yu)RF應(ying)用(yong),無(wu)需切換(huan)到另一個(ge)軟(ruan)件平臺(tai)——MPI RF校(xiao)準軟(ruan)件程序QAlibria® 與SENTIO®完全(quan)集成(cheng),為了(le)遵(zun)循單(dan)一操(cao)作概念方(fang)法(fa)而易于(yu)使用(yong)。
技術優勢:
1、可提供最高(gao)12倍的高(gao)壓
2、具有防電弧技術
3、可(ke)配置多(duo)種儀器(qi)連(lian)接套件
應用方向:
可應用于(yu)晶圓的(de)高功率(lv)測量。