- 產品概況
- 功能結構
- 規格參數
- 資料下載
- 視頻
TS2000 Probe Systems
產品概要:
MPI TS2000的(de)專(zhuan)用(yong)設計可(ke)滿足(zu)高(gao)級半導體測試市(shi)場的(de)需求(qiu)。該系統與所(suo)有MPI系統附件完全兼(jian)容(rong),主要(yao)設計用(yong)于(yu)解決(jue)故(gu)障分(fen)析,設計驗證,IC工程(cheng),晶(jing)圓(yuan)級可(ke)靠性(xing)以及(ji)對MEMS、高(gao)功率、RF和mmW器件測試的(de)特(te)殊要(yao)求(qiu)。
基本信息:
超大面積工作臺
TS2000系(xi)列提供了易于使用的(de)(de)大(da)(da)型探針座放置(zhi)臺面(mian),以適應多達(da)12套直流或(huo)4套射頻(pin)的(de)(de)微(wei)(wei)定(ding)位器,集成了負(fu)載拉(la)力調諧器或(huo)更大(da)(da)面(mian)積的(de)(de)微(wei)(wei)定(ding)位器,使得TS2000系(xi)統成為(wei)射頻(pin)和(he)毫(hao)米波測量(liang)的(de)(de)理想選擇。
快速的晶圓裝載
寬(kuan)大的(de)前門(men)通道可輕(qing)松裝(zhuang)載/卸載100、150、200mm的(de)晶圓,及微小(xiao)器件的(de)快速更換,兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面,可以很方便(bian)地(di)進(jin)行裝(zhuang)卸。
集成硬件控制面板
智能硬件控制面板完全集成到(dao)探針系(xi)統中,并基于數(shu)十(shi)年的經(jing)驗(yan)和客戶互(hu)動而(er)設計,隱藏式(shi)的鍵盤、鼠(shu)標增加整體美(mei)觀。
溫控系統
便捷式的(de)(de)觸(chu)摸屏來操(cao)作(zuo)熱(re)卡(ka)盤(從20°C或環境溫(wen)度(du)到(dao)最高(gao)300°C),實時顯示(shi)卡(ka)盤溫(wen)度(du),該(gai)觸(chu)摸屏位于(yu)操(cao)作(zuo)員前方的(de)(de)便利位置,以(yi)實現快(kuai)速(su)的(de)(de)操(cao)作(zuo)和即時的(de)(de)反饋。
探針卡和微型定位器
多達12套(tao)(tao)DC或4套(tao)(tao)DC和4套(tao)(tao)射頻微型定位器,及4.5英寸(cun)的(de)標(biao)準探針卡夾(jia)具,使該系統(tong)成(cheng)為設(she)計驗證(zheng)和(或)故障分析工作的(de)理想選擇(ze)。
整合式DarkBox
TS2000-D是集成了DarkBox的(de)TS2000。該系統專為各種屏蔽光電磁等敏(min)感器件而(er)設(she)計(ji),嵌入式的(de)互鎖,LED照明和(he)標準化接(jie)口面板而(er)設(she)計(ji),是受光和(he)激光安全(quan)保護的(de)測試環境的(de)首選。
儀器集成
可選的儀器架可縮(suo)短電纜(lan)長度,并提高 RF和(he)mmW 應(ying)用(yong)中的測(ce)量動態性(xing)(xing)和(he)方向性(xing)(xing)。
軟件套件SENTIO®
MPI自動工程探(tan)針(zhen)系統(tong)由(you)獨特且革命(ming)性的(de)(de)多點觸摸操作控制(zhi)SENTIO®軟(ruan)件套件,簡單直觀的(de)(de)操作節省(sheng)了大量(liang)的(de)(de)培訓(xun)時間。“滾動”,“縮放”,“移動”命(ming)令模(mo)仿了現代智能移動設備,使每個人都可以在(zai)短短幾分(fen)鐘內成為專家。集(ji)成式的(de)(de)RF應(ying)用(yong)系統(tong),無(wu)需切換到(dao)另一個軟(ruan)件平臺——MPI RF校準軟(ruan)件程序QAlibria®與(yu)SENTIO®完全(quan)集(ji)成在(zai)一起,遵循單一操作概念方法,易于使用(yong)。
技術優勢:
1、模塊量測 :DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
2、射頻量測 :至高 110 GHz
3、高(gao)功(gong)率量產測(ce)試 : 至(zhi)高(gao) 10 kV / 600 A
4、開放式溫區(qu):25°C至 300 °C
5、內置被動(dong)式防震系統
6、可(ke)乘載達 12x DC 或(huo) 4x DC + 4x RF 微定(ding)位(wei)器(qi)、或(huo) 4.5” 標準(zhun)探(tan)針(zhen)卡夾具
應用方向:
適用于多種量產(chan)型晶圓量測應用。
TS2000 Probe Systems
隔振系統
TS2000結合了兩種類型的隔振解決方案,總占地面積較小,可以在不同的實驗室測試環境中更好地運行。