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TS2000-SE Probe System
產品概要:
MPI的(de)TS2000-SE/8寸半自動(dong)探(tan)針臺是(shi)具有創新功(gong)能(neng)的(de)200mm自動(dong)化(hua)晶圓測試系統,其包含獨(du)特的(de)側面(mian)自動(dong)裝卸功(gong)能(neng)。
基本信息:
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的(de)微屏(ping)蔽暗箱,可(ke)為超低噪聲,低電(dian)容(rong)測量提供出色的(de)EMI和不(bu)透光的(de)屏(ping)蔽測試環(huan)境。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端(duan)口的RF或多達8個端(duan)口的DC / Kelvin等(deng)多種(zhong)測試組(zu)合(he)。
自動化晶圓裝載系統
該功能提供了非(fei)常方(fang)便的(de)(de)晶圓裝載,并(bing)且易(yi)于針對(dui)自動程(cheng)序進(jin)行預對(dui)準,可支持(chi)100mm、150mm、200mm等不同尺寸(cun)的(de)(de)晶圓。
安全管理(STM)系統
獨特的(de)STM系(xi)統可防止(zhi)在測試過(guo)程中(zhong)打開(kai)正門(men),以(yi)保證(zheng)測試過(guo)程的(de)安(an)全,任(ren)何(he)情況下都無法打開(kai)任(ren)何(he)系(xi)統門(men)。獨特的(de)智能(neng)露(lu)點控制程序(xu)可避免冷(leng)測試期間的(de)積聚,系(xi)統自動監視CDA或氮氣的(de)流(liu)(liu)量。如(ru)果流(liu)(liu)量中(zhong)斷或流(liu)(liu)量不(bu)足(zu),則STM™會(hui)自動將卡盤轉(zhuan)換(huan)為安(an)全模式(shi),迅(xun)速將卡盤加熱至露(lu)點以(yi)上。MPI STM™的(de)功能(neng)是(shi)通過(guo)保持安(an)全的(de)測試環境,使(shi)TS2000-SE的(de)測量更加安(an)全,可靠和方便(bian)。
高效率的裝卸
自動化的(de)單晶(jing)圓裝載機(ji)和安全(quan)測試管理提供了獨(du)特的(de)功能,可(ke)以(yi)在卡(ka)盤任(ren)意溫度下(xia)更換晶(jing)圓,不(bu)再(zai)需要冷卻或(huo)加熱(re)到(dao)環境溫度。這樣可(ke)以(yi)節省大量的(de)等待時間,并顯著提高(gao)MPI測試系統的(de)整體效率,可(ke)支持100mm-200mm不(bu)同尺(chi)寸(cun)晶(jing)圓。
側視影像系統(VCE™)
借助MPI8寸探(tan)(tan)針(zhen)臺獨特的自動(dong)側視(shi)– VCE™影像系統可視(shi)化的觀察探(tan)(tan)針(zhen)針(zhen)尖與(yu)樣品之間的接觸,使用DC或RF等(deng)探(tan)(tan)針(zhen)卡非常安全。
ERS獨特的 AC3冷卻技術
MPI旗下全系(xi)(xi)列探針(zhen)臺系(xi)(xi)統均采用ERS的(de)AC3冷卻技術和自我管(guan)理系(xi)(xi)統,可使用回收的(de)冷卻空(kong)氣(qi)吹(chui)掃MPI ShielDEnvironment™,可大幅減少(shao)30%至50%的(de)空(kong)氣(qi)消耗(hao)。
MPI THZ選項
它(ta)將TS2000-SE系統(tong)轉換(huan)為(wei)專用的(de)mmW和THz探針(zhen)(zhen)臺,是自(zi)動化探針(zhen)(zhen)臺測試系統(tong):MPI THZ Selection融合(he)了MPI為(wei)TS200-THZ開發的(de)頻率(lv)擴展器(qi)集(ji)成創新設計,可(ke)將擴展器(qi)懸停在整個200 mm晶(jing)圓上;這將與DUT的(de)距離(li)減至較小(xiao),以提供較佳(jia)的(de)測量方向性和準(zhun)確(que)性。
溫控系統
溫度(du)控(kong)制可(ke)以(yi)通過集成的(de)(de)(de)觸(chu)摸屏(ping)顯示(shi)(shi)器來操作(zuo),該顯示(shi)(shi)器位于(yu)操作(zuo)員前方的(de)(de)(de)便利位置,以(yi)實現快(kuai)速的(de)(de)(de)操作(zuo)和即(ji)時(shi)的(de)(de)(de)反饋。TS2000-SE內置集成了高性(xing)(xing)能的(de)(de)(de)振動(dong)隔離平臺,可(ke)在任(ren)何(he)實驗室測試環境中更好地運行。總占(zhan)地面積較小。可(ke)選(xuan)的(de)(de)(de)儀器架(jia)可(ke)縮短(duan)電纜長度(du)并增加測量動(dong)態性(xing)(xing)和方向性(xing)(xing)。
控制面板
智能硬件(jian)控制面板完全(quan)集成到探針系統中(zhong),并(bing)基(ji)于數十年(nian)的經驗和客戶互動而設(she)計,以提供更(geng)快,更(geng)安全(quan),更(geng)便捷的系統控制和測試操作(zuo)。隱(yin)藏式的鍵盤、鼠標增加整體(ti)美觀。
技術優勢:
1、模塊(kuai)量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及(ji)以(yi)上
3、失效分(fen)析(xi) - 探針卡 / 節(jie)間(jian)探測
4、可靠性測試 - 熱/ 冷(leng) / 長時間測試
5、高功(gong)率測試(shi) - 至高 10 kV / 600 A
6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huan)境,專(zhuan)為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的(de)精密量測環(huan)境
7、支持飛(fei)安級(ji)低(di)漏電值(zhi)量測
8、支持溫(wen)度范圍 -60 °C 至 300 °C
應用方向:
適用于多種晶(jing)圓(yuan)量測應用。