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TS3000-SE Probe System
產品概要:
TS3000-SE是TS3000探(tan)針臺(tai)系(xi)(xi)統(tong)的升級(ji)開(kai)發,該系(xi)(xi)統(tong)配備了MPI ShielDEnvironment™,可實(shi)現超低噪聲,滿(man)足設(she)備的需求表(biao)征(zheng),晶(jing)圓級(ji)可靠(kao)性以及RF和mmW等多種應用(yong)。
基本信息:
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是(shi)一個(ge)高(gao)性能的微(wei)暗室屏蔽系統,可為超(chao)低噪聲、低電容測(ce)量(liang)提供出色的EMI和不透光(guang)的屏蔽測(ce)試環境。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™允許多達(da) 4個端口(kou)的RF或(huo)多達(da)8個端口(kou)的DC / Kelvin或(huo)高功率等(deng)多種(zhong)測試組合。
探針懸停控制
MPI探針懸停控制(zhi)PHC™允許輕松手動(dong)控制(zhi)探針與晶(jing)片的(de)接(jie)觸和分(fen)離(li)。分(fen)離(li)距(ju)離(li)可以(yi)通過(guo)測微計反饋精(jing)確控制(zhi),以(yi)實(shi)現探針到晶(jing)圓的(de)精(jing)確定位。
快捷的晶圓裝載
雙前門通道和獨特的(de)卡盤(pan)設計使150、200、300mm晶(jing)圓,及微小器件的(de)快速更換,兩只陶瓷專(zhuan)用射頻校準(zhun)AUX卡盤(pan)位于前面,可以(yi)很方便地進行裝卸。
集成硬件控制面板
智能硬件控制面(mian)板完全集成到探針系統(tong)中,并(bing)基于數十年的(de)經驗和(he)客戶互(hu)動而設計,隱藏(zang)式的(de)鍵(jian)盤(pan)、鼠標增加(jia)整體美(mei)觀。
溫控系統
MPI和ERS共(gong)同設(she)計了新(xin)型300 mm熱(re)(re)卡盤(pan)AirCool®PRIME 系(xi)列,具有很好的(de)的(de)熱(re)(re)靈活性,可將變溫(wen)時(shi)間減(jian)少60%,減(jian)少轉換時(shi)間,改善電(dian)氣性能,在惰性氣體氣氛下進(jin)行更輕松的(de)測試以(yi)及現場可升(sheng)級(ji)性是AirCool®PRIME熱(re)(re)卡盤(pan)系(xi)統(tong)的(de)附加價值。便(bian)(bian)捷式的(de)觸(chu)摸屏實時(shi)顯示卡盤(pan)溫(wen)度,該觸(chu)摸屏位于操作員前方的(de)便(bian)(bian)利位置,以(yi)實現快速的(de)操作和即時(shi)的(de)反(fan)饋。
ERS獨特的AC3冷卻技術
MPI旗下全系(xi)列探針臺系(xi)統均采用ERS的(de)AC3冷卻技術和自我(wo)管理系(xi)統,可(ke)使用回收的(de)冷卻空(kong)氣吹掃MPI ShielDEnvironment™,可(ke)大幅減少30%至(zhi)50%的(de)空(kong)氣消耗。
安全測試管理(STM)系統
獨(du)特的(de)(de)STM系統可(ke)防止在測試(shi)過程(cheng)中打開正門,以(yi)保證測試(shi)過程(cheng)的(de)(de)安全,任何(he)情況(kuang)下(xia)都無法打開任何(he)系統門。獨(du)特的(de)(de)智能(neng)露點控制程(cheng)序可(ke)避免冷測試(shi)期間的(de)(de)積聚(ju),系統自動監視CDA或氮(dan)氣的(de)(de)流(liu)量(liang)。如果流(liu)量(liang)中斷或流(liu)量(liang)不足(zu),則STM™會自動將卡(ka)(ka)盤(pan)(pan)轉換為安全模式,迅速(su)將卡(ka)(ka)盤(pan)(pan)加(jia)熱(re)至露點以(yi)上。MPI STM™的(de)(de)功(gong)能(neng)是通過保持安全的(de)(de)測試(shi)環境,使TS3000-SE的(de)(de)測量(liang)更(geng)加(jia)安全,可(ke)靠和方便。
儀器集成
可選的儀器架可縮短電纜(lan)長度,并提(ti)高 RF和mmW 應用中的測(ce)量動(dong)態性(xing)和方向性(xing)。
軟件套件SENTIO®
MPI自動(dong)(dong)工程探針系(xi)統由獨特(te)且革命性的多點觸(chu)摸操(cao)作控制SENTIO®軟件套件,簡(jian)單(dan)直觀(guan)的操(cao)作節省了大量(liang)的培(pei)訓時間(jian)(jian)。“滾動(dong)(dong)”,“縮放”,“移動(dong)(dong)”命令模仿了現代智能(neng)移動(dong)(dong)設備,使每(mei)個人(ren)都可(ke)以在短短幾分鐘內成(cheng)為專家。在活動(dong)(dong)應用程序與其余APP之(zhi)間(jian)(jian)的切換僅需簡(jian)單(dan)的手指(zhi)操(cao)作即可(ke)。
技術優勢:
1、適用于多種(zhong)晶圓量(liang)測應(ying)用
2、模塊量(liang)測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f,RTS
3、射(she)頻和毫(hao)米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
4、可靠性測試(shi) - 精確(que)的壓力測試(shi)
5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境
6、專(zhuan)為 EMI / RFI / Light-tight 屏(ping)蔽所設計的精密量(liang)境,以得到 1/f 超低噪測試結(jie)果
7、支(zhi)援 fA 級超低(di)噪 IV 量測
8、可(ke)編程的顯微鏡滑(hua)臺實現自動化之簡便操作
9、具配置彈(dan)性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C
應用方向:
適用于多(duo)種晶圓(yuan)量測應(ying)用。