- 產品概況
- 功能結構
- 規格參數
- 資料下載
- 視頻
FS-Pro 半導體參數測試系統
產品概要:
FS-Pro 半導體(ti)(ti)參數測(ce)(ce)試(shi)系(xi)統(tong)(tong)是一款功能全面、配置靈活(huo)的半導體(ti)(ti)器(qi)件(jian)(jian)電學(xue)特性分(fen)析(xi)設備(bei),在一個系(xi)統(tong)(tong)中(zhong)實現了(le)電流電壓(ya)(IV) 測(ce)(ce)試(shi)、電容電壓(ya)(CV)測(ce)(ce)試(shi)、脈沖式 IV 測(ce)(ce)試(shi)、高速時域信(xin)號采(cai)集以及低頻(pin)噪(zao)聲(sheng)(sheng)(sheng)測(ce)(ce)試(shi)能力(li)(li)(li)。一套設備(bei)可(ke)完成半導體(ti)(ti)器(qi)件(jian)(jian)的全部低頻(pin)特性表征,其(qi)強大(da)而全面的測(ce)(ce)試(shi)分(fen)析(xi)能力(li)(li)(li)極大(da)地(di)加速了(le)半導體(ti)(ti)器(qi)件(jian)(jian)與工藝(yi)的研發(fa)評估進程,可(ke)無縫地(di)與 9812 噪(zao)聲(sheng)(sheng)(sheng)測(ce)(ce)試(shi)系(xi)統(tong)(tong)集成,其(qi)快速 DC 測(ce)(ce)試(shi)能力(li)(li)(li)進一步(bu)提升了(le) 9812 系(xi)列(lie)產(chan)品的噪(zao)聲(sheng)(sheng)(sheng)測(ce)(ce)試(shi)效率。
基本信息:
采用(yong)工(gong)業(ye)(ye)通(tong)用(yong)的 PXI 模塊化硬件(jian)結構(gou),配合(he)自(zi)主開(kai)發的測(ce)試(shi)軟件(jian) LabExpress,FS-Pro 在(zai)半導(dao)體工(gong)業(ye)(ye)產線測(ce)試(shi)與科研應(ying)用(yong)方面都(dou)具有優秀的性(xing)能(neng)表現,可廣泛應(ying)用(yong)于各種半導(dao)體器件(jian)、 LED 材料、二維材料器件(jian)、金屬材料、新型先進材料與器件(jian)測(ce)試(shi)等(deng)。LabExpress 為(wei)用(yong)戶(hu)提供了豐富的測(ce)試(shi)預(yu)設和(he)強大的測(ce)試(shi)功(gong)能(neng),可實現非常友好的用(yong)戶(hu)即插(cha)即用(yong)體驗; 該系統還可支持多通(tong)道并行測(ce)試(shi),進一(yi)步提升測(ce)試(shi)效(xiao)率(lv)。
技術優勢:
1、同時具備高速高精度直流(liu)測試和脈沖(chong)測試能力
2、量程范(fan)圍寬(kuan)、測試速(su)度快
3、支持小于1us采(cai)樣時間的高速時域(yu)信號采(cai)集
4、高達10萬點的數據量可以精細描繪(hui)信號隨時間變(bian)化特(te)性
5、低(di)頻噪聲(1/f noise,flicker noise)測試能(neng)力特別是RTN(隨機(ji)電報噪聲)測試能(neng)力與對準能(neng)力
6、使用方式簡單靈活,無需(xu)編程即可實現自由(you)的波形發生(sheng)或(huo)電壓同步與(yu)跟隨
7、支(zhi)持并行(xing)測試,內(nei)置(zhi)功能(neng)強大的測試軟件(jian)和算法,支(zhi)持多(duo)通道并行(xing)測試成倍提升測試效率
8、系統架(jia)構,PXI標(biao)準機箱,可擴展架(jia)構,支持通過多機箱擴展SMU卡數(shu)量
應用方向:
被半(ban)導體工(gong)業界和(he)眾(zhong)多知名大(da)學及科研(yan)機構(gou)采(cai)用作為標(biao)準(zhun)測試儀器。
FS-Pro 半導體參數測試系統
軟件功能:
FS-Pro 系列內置(zhi) LabExpress 測量(liang)軟件(jian)具有強(qiang)大的(de)測試和分析功(gong)能(neng),該軟件(jian)提供(gong)友(you)好的(de)圖(tu)形化用(yong)戶使用(yong)界面和靈活的(de)設定,具有下列主(zhu)要功(gong)能(neng) :
1、完整支持直流,脈沖,瞬態,電容和噪聲測試功能
2、內置的常見器件(jian)測試(shi)預設(she)可(ke)大大提高測試(shi)設(she)置效(xiao)率,幫助新手操作者快(kuai)速完成測試(shi)
3、強大的自(zi)定義設定功(gong)能(neng)可以靈活(huo)編輯電(dian)信號
4、內(nei)置強(qiang)大數據處理能(neng)力可測試后直接展開器件特(te)性分析
5、多種數據保存方式,導出數據可(ke)供用戶后(hou)續分析(xi)(xi)研究(jiu)也可(ke)直接(jie)導入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進行模型提(ti)取和特性(xing)分析(xi)(xi)
6、LabExpress 專業版支持對主流半自動探針臺和矩陣開(kai)關(guan)設備的控制(zhi),支持晶圓映射(she)、并行測試(shi)實現自動測試(shi)功能(neng),進一步提升測試(shi)效率
IV電流電壓測試
CV電容電壓測試
1/f噪聲測試 IVT測試
FS-Pro 半導體參數測試系統
硬件規格