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EVS Probe Card
產品概要:
EVS探針卡是(shi)(shi)對傳統bucklingbeam探針卡的(de)增強。主要特點是(shi)(shi)更高(gao)的(de)載(zai)流(liu)能(neng)力(li)(C.C.C.)和更低的(de)平(ping)衡接觸力(li)(BCF),以及整體的(de)MEMS特性。
基本信息:
EVS可以輕(qing)松滿足先進晶圓(yuan)探(tan)測的要求(qiu),精確(que)對(dui)準(zhun)和(he)良好的平面度控(kong)制是(shi)穩定接(jie)觸電阻的關(guan)鍵因素,憑借其(qi)容量(liang)和(he)性能,EVS 是(shi)高級探(tan)卡的理(li)想(xiang)選擇。
技術優勢:
1、類MEMS特性,具有(you)平(ping)頭和尖頭兩種,較小(xiao)的(de)針(zhen)痕(hen)
2、對80um以上的(de)pitch更理想
3、平面接(jie)觸力比常規屈曲(qu)梁(liang)低(di)50%
4、載流能力比常規屈曲梁高(gao)40%
5、更長的葉(xie)尖長度有助于延長使用壽命
6、與MPl內部基板兼容
應用方向:
主要應(ying)用于先進晶圓探(tan)測。