RKD的(de)(de)Elite Etch Cu是一臺可(ke)(ke)為銅(tong)線開(kai)封(feng)的(de)(de)化學開(kai)封(feng)機，通過(guo)集成了先(xian)進的(de)(de)特點來實現更高(gao)的(de)(de)產能(neng)。這(zhe)臺開(kai)封(feng)機可(ke)(ke)以通過(guo)將精密分配(pei)微等分的(de)(de)硝酸(suan)、硫酸(suan)或混(hun)酸(suan)到樣品器件上，可(ke)(ke)開(kai)封(feng)直(zhi)徑為0.8mil銅(tong)線的(de)(de)塑(su)封(feng)料，即便(bian)是脆(cui)弱的(de)(de)器件也能(neng)夠被快速(su)開(kai)封(feng)。

每(mei)一次微等(deng)分(fen)的(de)(de)酸被輸送到刻蝕腔內(nei)，由于泵(beng)產生的(de)(de)足(zu)夠大(da)的(de)(de)壓力(li)將會創(chuang)造出非常大(da)的(de)(de)湍流，可以極(ji)大(da)的(de)(de)提高封(feng)裝材料的(de)(de)去除效率(lv)。對(dui)酸溫度的(de)(de)精(jing)密控制，并結合(he)更高的(de)(de)分(fen)配效率(lv)使(shi)得對(dui)于銅線(xian)器件的(de)(de)開(kai)封(feng)不會產生引線(xian)或(huo)金(jin)屬化損傷。特殊設計(ji)的(de)(de)酸熱交換器能夠在(zai)高達8ml每(mei)分(fen)鐘(zhong)的(de)(de)流量內(nei)精(jing)的(de)(de)確將酸溫度控制在(zai)10℃到250℃范圍內(nei)。即使(shi)是在(zai)較低溫度時，高的(de)(de)酸脈沖率(lv)也能獲得合(he)理的(de)(de)刻蝕時間。

特點與優勢

Elite Etch Cu配置了一個酸控制(zhi)器(qi)刻(ke)蝕頭，它(ta)是(shi)由優質(zhi)碳化(hua)硅材料(liao)制(zhi)造的(de)，具有無與倫比的(de)耐酸性(xing)。刻(ke)蝕頭設計用于降低在開封工藝結束(shu)時(shi)(shi)殘(can)留在刻(ke)蝕頭上殘(can)留酸的(de)煙(yan)化(hua)現象,對(dui)于操作員更(geng)(geng)加安全(quan)，并且對(dui)酸的(de)清(qing)潔也更(geng)(geng)方(fang)(fang)便。器(qi)件壓(ya)(ya)制(zhi)組件(壓(ya)(ya)桿芯頭)是(shi)氣動激活的(de)推桿。壓(ya)(ya)桿芯頭正常狀態時(shi)(shi)縮(suo)回，當安全(quan)罩(zhao)完(wan)全(quan)關閉時(shi)(shi)伸出。當刻(ke)蝕罩(zhao)蓋下(xia)以后(hou)，壓(ya)(ya)頭自動從上到(dao)下(xia)直線移(yi)動，沿垂直方(fang)(fang)向直接將固(gu)定(ding)樣(yang)品或(huo)治(zhi)具安全(quan)地固(gu)定(ding)刻(ke)蝕頭上，可(ke)以完(wan)全(quan)消除被刻(ke)蝕器(qi)件和治(zhi)具的(de)移(yi)動。

Elite Etch Cu 在(zai)瓶(ping)(ping)子(zi)容器和(he)開封(feng)器之間的所有流體(ti)接口(kou)都采(cai)用雙重密封(feng)。瓶(ping)(ping)子(zi)容器組(zu)件和(he)刻(ke)蝕(shi)機(ji)內部都配置了流體(ti)傳感器，如果出現任何酸(suan)瓶(ping)(ping)或內部裝置的酸(suan)泄漏，都會立即向操作員發出漏酸(suan)警 報(bao)。瓶(ping)(ping)子(zi)容器采(cai)用了通用的旋轉互聯，使得(de)酸(suan)瓶(ping)(ping)更(geng)換非常簡(jian)單以盡量避免接觸(chu)殘酸(suan)。

Elite Etch Cu開(kai)封機(ji)采(cai)用自動高低壓氣(qi)體轉換系(xi)統和安全蓋內部(bu)安全氣(qi)壓補充，確保操作員安全，并且更加節省N2氣(qi)消耗。設備采(cai)用光 纖(xian)感應傳感器檢(jian)測開(kai)封時刻蝕(shi)罩(zhao)蓋上后的密合度。

廢酸收(shou)集采用了獨特(te)的(de)冷卻熱交換系(xi)統，可(ke)將廢酸冷卻至90℃及以下，用于將廢酸收(shou)集在一個廢酸瓶內，而無需兩(liang)個廢酸瓶以及硝酸硫酸轉換閥。單獨的(de)手(shou)持式鍵(jian)盤控制(zhi)，可(ke)以在通風廚外面(mian) 進行控制(zhi)避免酸對控制(zhi)面(mian)板和電路(lu)的(de)腐蝕。

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