TS2000-DP是(shi)MPI提供一(yi)套多功能(neng)且經濟高效(xiao)的(de)8寸半自動高功率測(ce)試探(tan)針臺，可在20°C至300°;C的(de)溫度范圍內進行晶圓(yuan)載片(pian)上高功率應用的(de)測(ce)量，且測(ce)量能(neng)力高達3kV(三軸(zhou))/10kV(同軸(zhou))和600A(脈沖)。

探針卡和微型定位器

TS2000-DP可提供最(zui)高(gao)12倍(bei)(bei)的高(gao)壓(最(zui)高(gao)3kV三軸或10kV同軸)或4倍(bei)(bei)的多(duo)手指高(gao)電流(最(zui)高(gao)400A的微型定位器)。

其(qi)具(ju)有(you)的大(da)量單(dan)探(tan)頭，專用于(yu)防電弧(hu)高功率(lv)探(tan)針(zhen)卡的的探(tan)針(zhen)卡夾(jia)，使得該系統成為高功率(lv)設備特性(xing)測量的理想選(xuan)擇。

防電弧技術

該系統配(pei)備了(le)ArcShield™，可防(fang)止卡盤(pan)和探針壓板之(zhi)間(jian)發生任何(he)可能(neng)的(de)電弧。

防(fang)電(dian)弧探針卡具有在DUT周(zhou)圍施加高壓的能力(li)，并且可以使(shi)用帕申(shen)定(ding)律來防(fang)止焊盤之間產生(sheng)電(dian)弧。

特別(bie)設計的防電(dian)弧LiquidTray™只需將其放(fang)在高(gao)功率卡盤(pan)表面(mian)即可(ke)用(yong)于抑制電(dian)弧。晶圓可(ke)以(yi)安全地放(fang)置在托盤(pan)內，以(yi)浸沒(mei)在液體中(zhong)進(jin)行(xing)無電(dian)弧高(gao)壓測試。

此卡(ka)盤(pan)可(ke)(ke)在300°C最高可(ke)(ke)達(da)10kV(同軸(zhou))。

儀器集成

TS2000-DP可(ke)以配(pei)置多種儀器(qi)連(lian)接(jie)(jie)套件(jian)，其中包(bao)括必要的高壓/大(da)電(dian)流探頭和(he)電(dian)纜(lan)附件(jian)，以便與測試儀器(qi)進行出色的連(lian)接(jie)(jie)，例如Keysight B15005(3kV或10kV)，包(bao)括集成(cheng)的模塊選擇器(qi)或Keithley 2600-PCT-XB，以及集成(cheng)的8020高功率接(jie)(jie)口面(mian)板。

軟件套件SENTIO®

MPI自動(dong)(dong)工(gong)程(cheng)探針(zhen)系統(tong)由獨(du)特的(de)、革命性的(de)多(duo)點觸摸(mo)操作(zuo)(zuo)控制SENTIO®軟(ruan)件套件——簡單(dan)直觀的(de)操作(zuo)(zuo)節省(sheng)了大(da)量(liang)的(de)培訓時間。“滾(gun)動(dong)(dong)”，“縮放”，“移動(dong)(dong)”命令模(mo)仿(fang)了現(xian)代智能(neng)移動(dong)(dong)設備，使每個人都可以在(zai)短短幾分鐘(zhong)內成為(wei)專家。在(zai)活動(dong)(dong)應用程(cheng)序(xu)與其余APP之間的(de)切換僅需簡單(dan)的(de)手指操作(zuo)(zuo)即(ji)可。

對于(yu)(yu)RF應用，無需切換到另一個軟件(jian)平臺——MPI RF校準軟件(jian)程序QAlibria®與(yu)SENTIO®完全集(ji)成，為了遵循單一操(cao)作概念(nian)方法而易于(yu)(yu)使用。

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