MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探針臺旨(zhi)在(zai)對300mm晶圓及以下微小器件(jian)提供高級(ji)EMI / RFI /不透光屏(ping)蔽，超低噪(zao)聲，低泄漏測量功能環境。 它以較(jiao)佳(jia)高度與(yu)防震臺結合在(zai)一起，使日常操(cao)作非(fei)常方(fang)便。

適用于多種晶圓量測應用

• ，如組(zu)件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可(ke)靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境(jing)

• 支援飛安(an)級低漏電量量測(ce)

• 內置防震系統

• 溫度量測范圍(wei) -60 °C 至 300 °C

探針臺特點與優勢

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能(neng)的(de)微暗室屏(ping)蔽系統，可提(ti)供超(chao)低噪聲(sheng)、低電容(rong)測量提(ti)供出色的(de)EMI和不透光(guang)的(de)測試(shi)環境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系統提供多達(da)(da) 4個端口(kou)的(de)RF或(huo)多達(da)(da)8個端口(kou)的(de)DC / Kelvin等(deng)多種搭配測試組合。

MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配(pei)置,在簡化日常操作(zuo)方(fang)面發揮了重要作(zuo)用。

空氣軸承

MPI獨特的(de)氣墊載物臺(tai)設計，具有簡單的(de)單手(shou)定標器控制，為快速(su)的(de)XY導航和晶圓裝載提(ti)供了無與倫比的(de)操作便利(li)性，同時又(you)具有精密(mi)的(de)25x25mm的(de)XY-Theta千分尺機芯(xin)，不影響(xiang)精確定位(wei)能力(li)。

獨特的卡盤Z調整

TS300-SE除空氣軸承XY工作臺外還(huan)包括5mm的Z吸(xi)盤調整(zheng)(μm分辨率)，可實現(xian)精確(que)的接觸(chu)/超程控制(zhi)或探(tan)針卡跌落尖(jian)端校(xiao)正。

1毫(hao)米刻度(du)指(zhi)示器(qi)為操作(zuo)員提(ti)供了簡便的反(fan)饋，另外20毫(hao)米氣(qi)動(dong)舉升機提(ti)供了便攜式的一鍵升降程序。

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