1.將樣品(pin)載入真(zhen)空(kong)(kong)卡(ka)盤(pan)，開啟真(zhen)空(kong)(kong)閥門控制開關，使樣品(pin)安全且牢固地吸附在卡(ka)盤(pan)上。

2.使用卡盤X軸(zhou)/Y軸(zhou)控制旋(xuan)鈕(niu)移動卡盤平(ping)臺，在顯微(wei)鏡(jing)低倍物鏡(jing)聚焦下看清楚(chu)樣品(pin)。

3.使用卡盤X軸/Y軸控(kong)制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測(ce)試點(dian)移動至顯微(wei)鏡下。

4.顯(xian)微鏡切換為高倍(bei)率物鏡，在(zai)大倍(bei)率下找到待測點(dian)，再微調顯(xian)微鏡聚焦和樣品x-y，將(jiang)影(ying)像調節清晰,帶測點(dian)在(zai)顯(xian)微鏡視場中心。

5.待(dai)測點位(wei)置確認好后(hou),再調節探(tan)針(zhen)座(zuo)的位(wei)置,將(jiang)(jiang)(jiang)探(tan)針(zhen)裝上后(hou)可眼觀先將(jiang)(jiang)(jiang)探(tan)針(zhen)移到接(jie)近待(dai)測點的位(wei)置旁邊,再使用探(tan)針(zhen)座(zuo)X-Y-Z三個微調旋鈕(niu),慢慢的將(jiang)(jiang)(jiang)探(tan)針(zhen)移至被測點,此(ci)時動作要(yao)小(xiao)心且緩慢，以防動作過大誤(wu)傷芯(xin)片，當探(tan)針(zhen)針(zhen)尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸(zhou)旋鈕(niu)將(jiang)(jiang)(jiang)探(tan)針(zhen)退后(hou)少許，再使用Z軸(zhou)旋鈕(niu)進行下(xia)針(zhen)，最后(hou)則使用X軸(zhou)旋鈕(niu)左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證(zheng)明是否已(yi)經接(jie)觸。

6.確保針尖和被測(ce)點(dian)接觸良好后，則可以(yi)通過(guo)連(lian)接的(de)測(ce)試(shi)設備開始測(ce)試(shi)。常見故(gu)障的(de)排除(chu)

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