探針臺不可以直接放物品，重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命。

平面電機(ji)由(you)定(ding)子(zi)(zi)和動子(zi)(zi)組成，它和傳統的步(bu)進(jin)電機(ji)相比其特殊性(xing)就(jiu)是將(jiang)定(ding)子(zi)(zi)展(zhan)開，定(ding)子(zi)(zi)是基礎平臺，動子(zi)(zi)和定(ding)子(zi)(zi)間有(you)一(yi)層氣(qi)墊，動子(zi)(zi)浮(fu)于氣(qi)墊上，而(er)可(ke)編程承片臺則安(an)裝(zhuang)在動子(zi)(zi)之上。

這種結構的x-y工(gong)作(zuo)臺，由于動子(zi)和定子(zi)間無(wu)相對摩擦(ca)故無(wu)磨損，使用壽命長。

對(dui)于已生(sheng)銹的(de)定子(zi)可以用天然油石(shi)輕輕地向一個方(fang)向打磨定子(zi)的(de)表面(mian)，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分(fen)地細心，不(bu)可使定子(zi)表面(mian)出現凹凸(tu)不(bu)平的(de)現象。

另外也可用沒有腐蝕(shi)性，不損壞定子的(de)除銹劑除銹。對于正常情(qing)況下的(de)定子則要定期作(zuo)除塵清理(li)工(gong)作(zuo)，清理(li)時應先通(tong)入大氣(qi)以便動子移動，方法是用脫脂(zhi)棉蘸少許大于95%的(de)無(wu)水乙(yi)醇(chun)，輕(qing)擦定子表面。

然(ran)后用專用工具撬起動子(zi)，方(fang)法同(tong)前，輕擦動子(zi)表(biao)面(mian)，動子(zi)的表(biao)面(mian)有若干個(ge)氣孔，它是定(ding)子(zi)和動子(zi)間壓縮(suo)空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻(yun)。

否則(ze)用工具(ju)小心旋開小孔(kong)中內(nei)嵌(qian)氣孔(kong)螺母(mu)檢查(cha)是否有雜質堵塞氣孔(kong)，處理完(wan)畢后應恢復(fu)內(nei)嵌(qian)氣孔(kong)螺母(mu)原始(shi)狀態。

需要特(te)別注意的是在未加(jia)壓縮空(kong)氣時不可強行拉動動子，以免造成(cheng)定子及動子的損傷(shang)。

平面電機(ji)應使用(yong)在環境溫度15～25℃，相對濕度小于50%的環境中，其所需的壓縮空氣(qi)必須經過干燥(zao)過濾處理且與環境空氣(qi)溫度差值(zhi)小于5℃，氣(qi)壓為0.4±0.04MPa。

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