一.探針臺操作步驟：

1.將測試產品(pin)放入探針臺的臺盤上;

2. 打開顯(xian)微鏡光源燈(LED或光源機);

3.打開(kai)背光面板光源(yuan)開(kai)關;

4.調整Z axis高度對焦，使(shi)能清楚看到樣(yang)品圖象(xiang)為OK;

5.調(diao)整目鏡(jing)和Zoom倍率(lv)，使(shi)影像清晰;

二.點針操作步驟：

1. 通過(guo)移動鏡頭組部分找到Sample 要(yao)下針的地方;

2. 調整針座位置，將三軸歸(gui)零;

3. 調整針(zhen)座仰(yang)角(jiao)機構，使針(zhen)尖位(wei)于顯微鏡射出光斑中(zhong)央(yang)上方1-2mm處;

4. 利(li)用低倍鏡頭找到針(zhen)尖,將針(zhen)尖移至視野中央(yang)位置并(bing)通過調整焦(jiao)距使(shi)針(zhen)尖達到*清晰;

6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;

7.利用針(zhen)座的X-Y-Z 軸微調下針(zhen);

8.量測(ce)完畢后(hou)，逆時(shi)針(zhen)(zhen)旋轉針(zhen)(zhen)座(zuo)的仰角(jiao)機(ji)構的旋鈕快速將針(zhen)(zhen)往上抬起，針(zhen)(zhen)尖即可(ke)移開Sample;移動針(zhen)(zhen)座(zuo)平臺或者顯微鏡相(xiang)關(guan)移動機(ji)構時(shi),請注意小心避免(mian)與鏡頭(tou)或被(bei)測(ce)品碰撞

9. 移(yi)開針座，取出Sample.

10.關閉背(bei)光面(mian)板光源(yuan)和光源(yuan)燈等電源(yuan).

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