英鉑科學儀器真空探針臺系列是不(bu)需要(yao)低溫(wen)制(zhi)冷劑的(de)(de)探(tan)針臺(tai)，它(ta)可以對(dui)器(qi)(qi)件(jian)進(jin)行非破壞性的(de)(de)測(ce)(ce)(ce)試(shi)，器(qi)(qi)件(jian)的(de)(de)最大(da)尺寸可達到51mm(2inch)。它(ta)可以對(dui)材(cai)(cai)(cai)料(liao)或器(qi)(qi)件(jian)的(de)(de)電(dian)學特(te)(te)性測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、光電(dian)特(te)(te)性測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、參數測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、high Z測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、DC測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、RF測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)微波特(te)(te)性測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)提供(gong)一個測(ce)(ce)(ce)試(shi)平臺(tai)。一般來講，納米電(dian)子材(cai)(cai)(cai)料(liao)、量(liang)(liang)(liang)子線、量(liang)(liang)(liang)子點和(he)半導體(ti)材(cai)(cai)(cai)料(liao)是在CRX- 4K進(jin)行測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)比較典型(xing)的(de)(de)材(cai)(cai)(cai)料(liao)。系統的(de)(de)探(tan)針、測(ce)(ce)(ce)試(shi)電(dian)纜、樣品架都有多種類型(xing)可供(gong)選擇(ze)，從而滿足不(bu)同用戶的(de)(de)需要(yao)。

使用4K閉循環制冷機(ji)，不(bu)需(xu)要消耗液(ye)氦和液(ye)氮，CRYO的溫(wen)(wen)(wen)度變(bian)化(hua)范圍4.5K到350K，加(jia)上一(yi)個可(ke)以更換的高溫(wen)(wen)(wen)樣品(pin)架選件(jian)，溫(wen)(wen)(wen)度變(bian)化(hua)范圍50K到500K。每一(yi)個低溫(wen)(wen)(wen)樣品(pin)級都(dou)安裝溫(wen)(wen)(wen)度計和加(jia)熱(re)器，可(ke)以提供快速的熱(re)響應，快速迅速回到室(shi)溫(wen)(wen)(wen)，樣品(pin)更換非常方便(bian)。熱(re)輻(fu)射(she)屏(ping)大(da)大(da)降低了(le)黑(hei)體(ti)輻(fu)射(she)，提高了(le)制冷效率。

系統采用了精心的設計來減低振動，采用各種減震裝置阻止機械振動影響測量的性能。在全量程溫度范圍內，樣品的振動小于1um ( X, Y, Z軸)。

CRYO最多可安裝6個(ge)可以(yi)(yi)進行(xing)微調整的探(tan)針(zhen)臂(bei)，每個(ge)探(tan)針(zhen)臂(bei)上的探(tan)針(zhen)都可以(yi)(yi)進行(xing)3維(wei)方向上的定位。微波(bo)探(tan)頭(tou)可以(yi)(yi)±5°旋轉，使樣品可以(yi)(yi)更好的和探(tan)針(zhen)匹配。DC探(tan)針(zhen)低(di)噪(zao)音，低(di)漏電(dian)流，熱(re)(re)接(jie)(jie)觸(chu)好。RF探(tan)針(zhen)可以(yi)(yi)頻率到(dao)67GHz.，光線(xian)可以(yi)(yi)從(cong)窗口入射(she)，也(ye)可以(yi)(yi)通過光纖導(dao)入。專用的探(tan)針(zhen)根據尺(chi)寸和材料不(bu)同，分(fen)為多種類型，探(tan)針(zhen)減少了(le)熱(re)(re)質(zhi)量，優化了(le)和器件(jian)的電(dian)接(jie)(jie)觸(chu)性。每個(ge)探(tan)針(zhen)都直接(jie)(jie)和冷(leng)頭(tou)進行(xing)導(dao)熱(re)(re)，這樣就減小了(le)探(tan)針(zhen)對樣品的熱(re)(re)傳遞。

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