半自動探針臺技術指標

支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提(ti)供4個SMU接口，可(ke)同時輸(shu)出(chu)(chu)(測(ce)量)四路直流信號。 每個SMU最大輸(shu)出(chu)(chu)電(dian)壓100V(-100V),最大輸(shu)出(chu)(chu)電(dian)流1A 測(ce)量功率100V*10mA。 開路漏電(dian)流20fA。

半自動探針臺主要功能

通過(guo)和外(wai)接(jie)的(de)(de)測(ce)試(shi)儀(yi)器4156C以及溫度控制(zhi)設備TP03000A的(de)(de)連接(jie)，組成一個測(ce)試(shi)平臺，完(wan)成對器件封裝前的(de)(de)電性能測(ce)試(shi)(電阻，C/V,擊穿特性等)。

查看更多探針臺系統

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