手動晶圓級太赫茲探針臺系統TS150-THZ返回列表
MPI TS150-THZ是(shi)150 mm高頻專用(yong)探針臺，旨在對基(ji)板和150 mm晶圓進行精確分析。TS150-THZ可以支持(chi)多種RF和毫米(mi)波(bo)(mmW)應用(yong)，例如高達1.5THz的(de)寬帶(dai)，帶(dai)狀波(bo)導，次THz，負(fu)載(zai)牽(qian)引和RF噪(zao)聲。它提供了無(wu)與(yu)倫比的(de)功能：
• 無縫集成任何高達1.5 THz的寬(kuan)帶，差分或寬(kuan)帶擴(kuo)頻器
• 可(ke)靠的的機械穩定性(xing)(xing)和可(ke)重(zhong)復性(xing)(xing)，結合方便和安全的操作
• 測量路(lu)徑較小以獲得(de)最佳(jia)的測量方向性
卡盤移動系統
TS150-THZ具有10mm的(de)精確卡盤Z調(diao)整，旨在(zai)靈活(huo)地(di)集成(cheng)不同的(de)擴頻(pin)器，例(li)如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在(zai)同一探頭(tou)系統上使用多個(ge)彎曲解決方案進(jin)行(xing)設置時極為(wei)有利，可以輕松(song)快(kuai)速地(di)進(jin)行(xing)設置。
MicroPositioners的多種配置
專用且(qie)極堅固的(de)探針(zhen)壓(ya)板設計可容納兩個東(dong)西方向固定的(de)MP80大面積MicroPositioner。 通過(guo)將(jiang)兩個南北(bei)“電橋”作為標準配置(zhi)，可以(yi)輕(qing)松進(jin)行四(si)端口(kou)RF測量或DC偏置(zhi)。
探針座系統
獨特的MP80-DX具有低至(zhi)1µm精確的清晰度，搭配三豐數顯千分尺。
成像系統
可以選擇單(dan)管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學變焦高達12倍，工作(zuo)距(ju)離(li)超(chao)過45毫米。由于集(ji)成測試頭/調諧器固有的空間限制，要(yao)求與DUT的距(ju)離(li)最短，因此(ci)這(zhe)種顯微鏡的體積(ji)小，非(fei)常(chang)適合RF和mmW應用。
