注：這里我們主要以射頻探針臺為例總結探針臺的應用。

以(yi)RF微波(bo)射頻(pin)(pin)在(zai)片(pian)(pian)測(ce)(ce)(ce)試為例，在(zai)片(pian)(pian)測(ce)(ce)(ce)量是指使用(yong)探針直接測(ce)(ce)(ce)量晶圓(Wafer)或裸芯片(pian)(pian)(Chip)的(de)(de)(de)微波(bo)射頻(pin)(pin)參數(shu)。相比于常規的(de)(de)(de)鍵合/封裝后的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量，微波(bo)射頻(pin)(pin)在(zai)片(pian)(pian)測(ce)(ce)(ce)量消除了封裝及鍵合絲引(yin)入的(de)(de)(de)寄(ji)生參數(shu)，可以(yi)更(geng)準確的(de)(de)(de)反應被(bei)測(ce)(ce)(ce)芯片(pian)(pian)的(de)(de)(de)射頻(pin)(pin)特性undefined。微波(bo)射頻(pin)(pin)在(zai)片(pian)(pian)測(ce)(ce)(ce)量廣(guang)泛應用(yong)于器件建模、芯片(pian)(pian)檢驗等領域。

隨著5G、汽(qi)車雷達等技(ji)術的(de)發展，在(zai)片(pian)測試也進入了亞毫米(mi)波(bo)/太赫茲(zi)頻(pin)段，對在(zai)片(pian)測試技(ji)術提出了更高(gao)的(de)挑戰(zhan)。

在片測量系統

：

微(wei)波(bo)(bo)射頻(pin)(pin)(pin)在片(pian)(pian)測(ce)(ce)量(liang)(liang)系(xi)統(tong)一般由射頻(pin)(pin)(pin)/微(wei)波(bo)(bo)測(ce)(ce)量(liang)(liang)儀器和探針臺及附件組(zu)成。 微(wei)波(bo)(bo)射頻(pin)(pin)(pin)在片(pian)(pian)測(ce)(ce)量(liang)(liang)系(xi)統(tong)中，探針臺和探針用(yong)于(yu)芯(xin)片(pian)(pian)測(ce)(ce)量(liang)(liang)端口與射頻(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)量(liang)(liang)儀器端口(同軸或(huo)波(bo)(bo)導)之間的適(shi)配(pei);微(wei)波(bo)(bo)射頻(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)量(liang)(liang)儀器完成各項(xiang)所需的射頻(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)量(liang)(liang)。

探針臺（Probe Station）：

探針(zhen)臺(tai)(tai)是半導體(ti)(包括集成電(dian)路(lu)、分立器(qi)件(jian)(jian)、光電(dian)器(qi)件(jian)(jian)、傳感器(qi))行(xing)業重要的(de)(de)檢測(ce)裝備之一，其廣泛應(ying)用(yong)(yong)于(yu)復(fu)雜、高速器(qi)件(jian)(jian)的(de)(de)精密(mi)電(dian)氣(qi)測(ce)量undefined，旨在確保(bao)質量及可靠性，并縮(suo)減研發時間和器(qi)件(jian)(jian)制造工藝的(de)(de)成本。通過與測(ce)試儀器(qi)的(de)(de)配合，探針(zhen)臺(tai)(tai)將參數特性不符合要求的(de)(de)芯(xin)片記錄下(xia)來，在進入后序(xu)工序(xu)前(qian)予以剔除，大(da)大(da)降低器(qi)件(jian)(jian)的(de)(de)制造成本。探針(zhen)臺(tai)(tai)主要用(yong)(yong)于(yu)晶(jing)(jing)圓制造環(huan)節的(de)(de)晶(jing)(jing)圓檢測(ce)、芯(xin)片研發和故障(zhang)分析(xi)等應(ying)用(yong)(yong)。

半導(dao)體測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)可以(yi)按(an)生產流程可以(yi)分(fen)為(wei)三類：驗證測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)、晶圓測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)、封裝檢測(ce)(ce)(ce)(ce)。晶圓檢測(ce)(ce)(ce)(ce)環節(jie)需要使用測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)儀(yi)(yi)和(he)(he)探針(zhen)臺，測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)儀(yi)(yi)/機用于(yu)檢測(ce)(ce)(ce)(ce)芯(xin)(xin)片功(gong)能和(he)(he)性能，探針(zhen)臺實現(xian)被測(ce)(ce)(ce)(ce)芯(xin)(xin)片與測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)機的(de)(de)連接，通過探針(zhen)臺和(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)機的(de)(de)配(pei)合使用對晶圓上(shang)的(de)(de)裸芯(xin)(xin)片進行(xing)功(gong)能和(he)(he)電參數測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)或射(she)頻測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)undefined，可以(yi)對芯(xin)(xin)片的(de)(de)良(liang)品(pin)、不良(liang)品(pin)的(de)(de)進行(xing)篩選。

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