探針臺可(ke)以(yi)固定(ding)晶圓或(huo)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)，并(bing)精(jing)確(que)定(ding)位(wei)(wei)待(dai)測(ce)物。手動(dong)探(tan)(tan)針(zhen)臺的(de)使用(yong)者(zhe)將探(tan)(tan)針(zhen)臂和(he)探(tan)(tan)針(zhen)安裝到操縱器中，并(bing)使用(yong)顯微鏡將探(tan)(tan)針(zhen)尖端(duan)放置(zhi)到待(dai)測(ce)物上的(de)正確(que)位(wei)(wei)置(zhi)。一旦所有(you)探(tan)(tan)針(zhen)尖端(duan)都被設置(zhi)在正確(que)的(de)位(wei)(wei)置(zhi)，就可(ke)以(yi)對(dui)待(dai)測(ce)物進(jin)行測(ce)試(shi)。對(dui)于帶有(you)多個(ge)(ge)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的(de)晶圓，使用(yong)者(zhe)可(ke)以(yi)抬起壓(ya)(ya)盤，壓(ya)(ya)盤將探(tan)(tan)針(zhen)頭(tou)與芯(xin)(xin)片(pian)(pian)分(fen)開，然后將工作(zuo)臺移(yi)到下一個(ge)(ge)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)上，使用(yong)顯微鏡找到精(jing)確(que)的(de)位(wei)(wei)置(zhi)，壓(ya)(ya)板降低(di)后下一個(ge)(ge)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)可(ke)以(yi)進(jin)行測(ce)試(shi)。半自動(dong)和(he)全自動(dong)探(tan)(tan)針(zhen)臺系統使用(yong)機(ji)械化工作(zuo)臺和(he)機(ji)器視覺來自動(dong)化這個(ge)(ge)移(yi)動(dong)過程，提高了探(tan)(tan)針(zhen)臺生產率。

探針臺的分類

探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。

手動探針臺系統顧名思義是(shi)手動控制(zhi)的(de)(de)，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是(shi)由使(shi)用(yong)者手動移(yi)動的(de)(de)。因此一般是(shi)在沒有很多待測器件(jian)需(xu)要(yao)測量或(huo)數據需(xu)要(yao)收集的(de)(de)情況下(xia)使(shi)用(yong)手動探(tan)針(zhen)臺。該(gai)類(lei)探(tan)針(zhen)臺的(de)(de)優點(dian)(dian)之一是(shi)只(zhi)需(xu)要(yao)很少(shao)的(de)(de)培訓，易于配置(zhi)環境(jing)和(he)(he)轉(zhuan)換測試環境(jing)，并且不需(xu)要(yao)涉及額外(wai)培訓和(he)(he)設置(zhi)時間的(de)(de)電(dian)子設備、PC或(huo)軟(ruan)件(jian)。由于其靈活和(he)(he)可(ke)變性高的(de)(de)特點(dian)(dian)，非常適合研發人員使(shi)用(yong)。

全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓(yuan)材(cai)料處理搬運單元(MHU)和(he)模式(shi)識別undefined(自動對準)。負責晶圓(yuan)的(de)輸(shu)送與定位，使晶圓(yuan)上的(de)晶粒依次與探(tan)(tan)針接觸(chu)并逐個測試。可以(yi)24小(xiao)時連續工作，通常(chang)用于(yu)芯片量產或有一(yi)些特殊要求如處理薄晶圓(yuan)、封裝(zhuang)基(ji)板等(deng)。全(quan)自動探(tan)(tan)針臺(tai)價格也是遠(yuan)比手動/半自動探(tan)(tan)針臺(tai)要昂貴。

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