產品介紹：

TS200探針臺應用于半導體晶圓級、器件類電學特性，具備單手可快速拖動樣品臺，快速位移到所需位置，并且有著獨特Platen平臺設計，測試重復性顯著提高95%。

產品優勢·：

1、氣浮式樣品移動系統

MPI獨特的氣墊載物臺設計，單手控制，為操作人員提供了很強的便利性，可實現快速XY導航和快速晶圓裝載，同時又不影響精確的定位功能

2、高度調整

針座平臺具備25毫米的精細高度調節，以支持各種應用。獨特的1mm刻度可精確的顯示當前位置

3、多種卡盤選項

手動系統可提供多種卡盤選項，以滿足不同的預算和應用需求。卡盤選件包括MPI的同軸、三軸、高功率chuck或各種ERS高低溫chuck，以支持高達300°C的溫度測量

4、緊湊堅固的 Platen 平臺

緊湊而堅固的壓盤設計可容納多達10個DC或四個RF MicroPositioner，滿足各種應用需求

5、多種光學系統選擇

提供多種光學器件，如單筒金相顯微鏡SZ10或MZ12之間進行選擇

6、振動隔離平臺

手動系統包括減震基座，以實現穩定可靠的探針與待測器件的長期接觸，從而確保可靠穩定的測量結果。

7、屏蔽系統

暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏蔽和不透光的測試環境

產品應用：

適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS) 和高功率 (HP)。