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2023-05-24 10:09:59 英鉑科學儀器（上海）有限公司

裝機產品：TS150、TS200-SE、TS3000-SE

TS150

產品介紹：

TS150應用(yong)于(yu)測試半(ban)導體晶圓級、器件類電學特性，具備可(ke)以快速拖動樣品臺(tai)，更換樣品功能，并且有(you)著獨特Platen平臺(tai)設計(ji)，測試重(zhong)復(fu)性提高95%。MPI 全系(xi)列探針(zhen)臺(tai)具備模塊化設計(ji),可(ke)搭配不(bu)同(tong)(tong)變倍比(bi)顯(xian)微鏡，同(tong)(tong)時(shi)與德國ERS聯合開發設計(ji)具有(you)氣冷溫控技術的Thermal Chuck同(tong)(tong)步使(shi)用(yong)。

產品優勢：

1、氣浮式樣品移動系統

MPI獨特的(de)氣墊載(zai)物臺設計，具(ju)有(you)簡單的(de)單手冰球控制，為操作(zuo)人員提供了很強的(de)便利(li)性(xing)，可實現快速(su)XY導(dao)航(hang)和快速(su)晶圓裝載(zai)，同時又(you)不影(ying)響精確的(de)定位功能。

2、高度調整比例

探針臺工作臺面具有(you)25毫(hao)米的(de)精細高(gao)度調節(jie)，支(zhi)持(chi)各種(zhong)應用，獨特的(de)1mm精確刻度可準確指示當前(qian)位置。

3、多種卡盤選項

手動系統可提供(gong)多種(zhong)卡盤選項，以滿足(zu)不同的預算(suan)和應(ying)用需(xu)求。

4、多種(zhong)光學系統選(xuan)擇

提供多種光學器件(jian)，可以(yi)在用(yong)(yong)于(yu)普通DC / CV應用(yong)(yong)的(de)立體聲(sheng)或用(yong)(yong)于(yu)射頻配置的(de)單管(guan)MPI SZ10或MZ12之間進行選擇。

5、屏蔽系統

暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏(ping)蔽(bi)和(he)不透光的測試環境(jing)。

6、多種光學系統選擇(ze)

提供多種光學器(qi)件，可在(zai)普(pu)通DC / CV應用的立(li)體聲或(huo)(huo)射頻配置的單(dan)管MPI SZ10或(huo)(huo)MZ12之(zhi)間(jian)進(jin)行選擇(ze)。

產品應用：

適(shi)用于多種晶圓量測應用，如(ru)組件特性(xing)描述和建模，晶圓級(ji)可靠性(xing) (WLR)、失效(xiao)分析 (FA)、集成(cheng)電路(lu)工程(cheng)、微型機電系統 (MEMS) 和高功率 (HP)。

TS200-SE

產品介紹：

MPI TS200-SE 8英寸探針(zhen)臺可提(ti)供高級EMI / RFI /不(bu)透光屏蔽，超低(di)噪聲，低(di)泄漏(lou)測量功能。

1、適用于多(duo)種晶圓量測(ce)應用，如(ru)組件(jian)特性(xing)描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可(ke)靠性(xing) (WLR) 和失(shi)效分析 (FA)

2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境(jing)，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(she)計的精密量(liang)測環境(jing)

3、支援飛(fei)安(an)級低漏(lou)電(dian)量量測

4、溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

產品優勢：

1、ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的(de)屏(ping)蔽系統，可(ke)為超低噪聲，低電容測量提供出(chu)色的(de)EMI和(he)不透(tou)光的(de)屏(ping)蔽測試環境。

2、ShielDCap™

MPI ShielDCap™便(bian)于(yu)屏蔽，易(yi)于(yu)多(duo)種(zhong)搭(da)配，在(zai)簡化日常操作(zuo)(zuo)方面(mian)發揮了(le)重要作(zuo)(zuo)用；完整的ShielDCap™可以很容易(yi)地用EMI屏蔽版本的探(tan)針(zhen)卡支(zhi)架替換。

3、空氣軸承

MPI獨特的(de)氣墊載物臺設計，具有簡單的(de)單手(shou)冰球控制，為快(kuai)速的(de)XY導航和(he)晶圓(yuan)裝載提供了操作的(de)便利性，同時又(you)具有額外(wai)精密(mi)的(de)25x25mm的(de)XY-Theta千分尺機芯(xin)，不(bu)影(ying)響精確定位能力(li)。

4、溫度控制集成

晶(jing)圓裝(zhuang)載門可以(yi)在15°C以(yi)下的(de)任何溫度下鎖(suo)定，此獨特功能使TS200-SE成為市場上安全(quan)的(de)手(shou)動探針臺(tai)，此外，溫控系統可以(yi)通過(guo)集成式的(de)觸(chu)摸屏(ping)來(lai)操作(zuo)，該觸(chu)摸屏(ping)放置(zhi)(zhi)在操作(zuo)員面前的(de)便(bian)利位(wei)置(zhi)(zhi)，以(yi)實(shi)現(xian)快速(su)的(de)反饋。

5、ERS獨(du)特的AC3冷(leng)卻技術(shu)

MPI旗下(xia)探(tan)針臺系統均(jun)采(cai)用(yong)ERS的AC3冷(leng)卻技術及其空氣(qi)(qi)管(guan)理(li)系統，可減(jian)少多達30%至50%的干燥空氣(qi)(qi)消耗。

6、多種光學系統(tong)選擇

MPI光(guang)學(xue)器件可以選擇(ze)單筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10，高(gao)達12倍光(guang)學(xue)變焦的(de)MegaZoom™MZ12或超過42毫米工作距(ju)離的(de)EeyZoom™EZ10 ——其(qi)具有(you)人體工程學(xue)20倍目鏡的(de)10倍光(guang)學(xue)變焦系(xi)統，90mm工作距(ju)離和低至(zhi)2um以下的(de)光(guang)學(xue)分辨率。