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案例

英鉑科學助力浙江大學搭建8寸晶圓級電學測試系統返回列表

裝機產品:YB800

產品介紹:

YB800是200mm手動探針臺系統,可以提供準確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。
產品優勢:

1、單機多應用設計

•適用(yong)于多種(zhong)晶(jing)圓/集成電路(lu)/功(gong)率器件/光學材料量(liang)測(ce)應(ying)用(yong),如(ru)射(she)頻和 DC、IV/CV 測(ce)試晶(jing)圓級可靠性

2、具備工效學設計

•XY 軸微調(diao)設(she)(she)計(ji)/Y 軸快速導入(ru)導出/載(zai)物臺(tai)設(she)(she)計(ji)

•堅固且可乘(cheng)載多達 10 支(zhi) DC 或 4 支(zhi) RF 微定位器的工作臺

•兩段(duan)式工作臺快升把手設(she)計,接觸(contact) - 分離(loading),實(shi)現高(gao)可(ke)靠性(xing)、高(gao)效率性(xing)

•具備英鉑科(ke)學儀(yi)器獨有專利技術(shu)的氣浮(fu)式(shi)移(yi)動樣品臺,搭配(pei)微(wei)調千分尺

3、彈性選配與升級性

•另有(you)多(duo)種晶圓載物臺可做升級,亦有(you)諸多(duo)配(pei)件(jian)如 DC/RF/mmW 微(wei)定位器、光學顯(xian)微(wei)鏡、電磁屏(ping)蔽(bi)箱/防(fang)震系(xi)統可搭載,以完全支(zhi)援(yuan)您的應(ying)用(yong)需求

4、高壓人機安全防護設計

•Platen 底部特征聚(ju)合物(wu)高壓防(fang)護設計

•Chuck 獨特安全隔(ge)離防(fang)護(hu)設計

•采用德國 PEEK 雙層高(gao)壓(ya)(ya)防護環套設計的針桿(標準 SHV Coaxial 接口)通用keithley&keysight 高(gao)壓(ya)(ya)儀表

 

•紅外感測 interlock 安全(quan)互鎖(suo)機制

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