產品介紹：

MPI的(de)TS2000-SE/8寸半自動探(tan)針(zhen)臺(tai)是具有(you)創(chuang)新功能的(de)200mm自動化晶圓測試系統，其(qi)包含獨特的(de)側面自動裝卸功能和(he)超高(gao)屏蔽下的(de)超低噪聲環境。

產品概要：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一(yi)個高性能的微(wei)屏蔽(bi)暗箱，可為超低噪(zao)聲，低電容測量提供出(chu)色的EMI和不透光(guang)的屏蔽(bi)測試環境

2、自動化(hua)晶圓裝(zhuang)載系統(tong)

該(gai)功能提(ti)供(gong)了非常方便的晶(jing)圓(yuan)裝載，并且易于針對自動(dong)程序進行預(yu)對準，可支持100mm、150mm、200mm等不(bu)同尺寸的晶(jing)圓(yuan)，針對高低(di)溫環境下可提(ti)高測(ce)試效率(lv)

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術(shu)

MPI旗下全系(xi)(xi)列(lie)探(tan)針臺系(xi)(xi)統(tong)(tong)均(jun)采用ERS的AC3冷(leng)卻技術(shu)和自我管(guan)理系(xi)(xi)統(tong)(tong)，可(ke)使用回收的冷(leng)卻空氣(qi)吹(chui)掃MPI ShielDEnvironment，可(ke)大幅減少(shao)30%至50%的空氣(qi)消耗

4、側視影像系(xi)統(VCE)

借助(zhu)MPI8寸探針(zhen)臺獨特(te)的(de)(de)自動(dong)側視– VCE影像系統(tong)可視化(hua)的(de)(de)觀察探針(zhen)針(zhen)尖與樣品(pin)之間的(de)(de)接觸，使用DC或RF等(deng)探針(zhen)卡非常安全

產品優勢：

1、模塊(kuai)量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射(she)頻(pin)和毫米波(bo) - 26 GHz 至 110 GHz 及以(yi)上

3、失效分析 - 探針卡(ka) / 節間探測

4、可(ke)靠性測試(shi) - 熱/ 冷(leng) / 長時(shi)間測試(shi)

5、高(gao)功(gong)率(lv)測試 - 至高(gao) 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽(bi)環境(jing)，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽(bi)所設計的精密量測環境(jing)

7、支持飛(fei)安級低漏(lou)電值量測

8、支持溫度范(fan)圍 -60 °C 至 300 °C