產品介紹：

MPI的(de)TS2000-SE/8寸(cun)半(ban)自動(dong)探針臺(tai)是(shi)具有創(chuang)新功(gong)能的(de)200mm自動(dong)化(hua)晶(jing)圓測(ce)試系統，其包含獨(du)特的(de)側面(mian)自動(dong)裝卸功(gong)能和超高屏蔽下的(de)超低噪聲環境。

產品概要：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高性能的(de)微屏(ping)蔽暗箱，可為超低噪(zao)聲(sheng)，低電容測(ce)量提(ti)供出(chu)色的(de)EMI和(he)不透光的(de)屏(ping)蔽測(ce)試(shi)環境

2、自(zi)動化晶圓裝載系統

該功(gong)能提供了非常方(fang)便(bian)的晶圓(yuan)裝載，并且易于針對自動程序進行預對準，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸(cun)的晶圓(yuan)，針對高低溫環境下(xia)可提高測試效率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系(xi)(xi)(xi)列探針臺系(xi)(xi)(xi)統均(jun)采用(yong)(yong)ERS的(de)AC3冷(leng)卻技術和自我管理系(xi)(xi)(xi)統，可(ke)使用(yong)(yong)回收的(de)冷(leng)卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment，可(ke)大幅減少30%至50%的(de)空氣消耗

4、側視(shi)影像系統(VCE)

借(jie)助MPI8寸探(tan)針臺(tai)獨特的自(zi)動(dong)側視– VCE影像系統可視化的觀察探(tan)針針尖與樣(yang)品之間的接觸，使用DC或RF等探(tan)針卡非常安全(quan)

產品優勢：

1、模(mo)塊(kuai)量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和(he)毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析(xi) - 探針(zhen)卡 / 節間探測(ce)

4、可靠性(xing)測試(shi) - 熱/ 冷 / 長時間測試(shi)

5、高(gao)功率測試(shi) - 至高(gao) 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏(ping)蔽(bi)(bi)環境(jing)，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏(ping)蔽(bi)(bi)所設計(ji)的(de)精密量(liang)測環境(jing)

7、支持飛(fei)安級低漏電(dian)值(zhi)量(liang)測

8、支(zhi)持(chi)溫度范(fan)圍 -60 °C 至 300 °C