產品介紹：

TS150是(shi)MPI 6英寸手動(dong)探針(zhen)臺(tai)系(xi)統，可以提供準(zhun)確可靠的DC/CV, RF和高(gao)功率測量。

產品優勢：

1、設(she)計用于(yu)多種應用測(ce)試(shi)，如器件表征與建(jian)模，晶圓級可(ke)靠性，失效分析，IC工程，MEMS和大(da)功率等

2、具(ju)備人體工學設計

•獨(du)有(you)氣浮式快(kuai)速移動(dong)機(ji)構專利，可快(kuai)速單手操作(zuo)，并搭配微調以滿足高精度調節

•針(zhen)座平臺可容納多達10個直流(liu)或4個射頻定位器

•針(zhen)座(zuo)平臺具備三檔(dang)抬桿功(gong)能，接(jie)觸（contact），分離（separation)，裝載(zai)（load）

3、可升級性

•可提供各種卡盤選項和(he)配件，如DC/RF/毫米(mi)波微定位器，光學器件，微管(guan)

• 可升級高溫系統