英鉑攜MPI助力太原實驗室搭建半自動高低溫低噪聲測試系統返回列表

2023-10-23 09:50:00 英鉑科學儀器（上海）有限公司

裝機產品：TS2000-SE、TS200-SE

TS2000-SE

產品介紹：

MPI的TS2000-SE/8寸(cun)半自動探針(zhen)臺是具有創(chuang)新功(gong)(gong)能(neng)的200mm自動化晶圓測試系統，其包含獨特的側面(mian)自動裝卸功(gong)(gong)能(neng)和超高屏蔽下(xia)的超低噪聲環境。

特色功能：

MPI的TS2000-SE/8寸半自(zi)動探針臺(tai)發(fa)布(bu)新(xin)功(gong)能，側面帶有VCE，可完美(mei)解放您的雙手，實現精準定位(wei)，完成自(zi)動扎針，使測試(shi)過程更加方便快(kuai)捷。

產品概要：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗(an)箱，可為超低噪聲，低電容測(ce)量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測(ce)試(shi)環境

2、自動化(hua)晶圓裝載(zai)系統(tong)

該功(gong)能提供了非(fei)常方(fang)便的晶(jing)圓(yuan)裝載，并且易(yi)于(yu)針對自動(dong)程序(xu)進行預(yu)對準，可支持100mm、150mm、200mm等不(bu)同尺寸的晶(jing)圓(yuan)，針對高低(di)溫環境下可提高測試效率(lv)

3、ERS獨(du)特的 AC3冷卻(que)技術(shu)

MPI旗(qi)下(xia)全系列探(tan)針臺(tai)系統均采用ERS的AC3冷(leng)卻(que)(que)技術(shu)和自我管理系統，可使(shi)用回收的冷(leng)卻(que)(que)空氣吹掃(sao)MPI ShielDEnvironment，可大幅減(jian)少30%至50%的空氣消耗

4、側視影像系統(VCE)

借(jie)助MPI8寸探針臺獨特的自(zi)動(dong)側視– VCE影像系統可視化(hua)的觀察探針針尖與樣品之間的接觸，使用DC或RF等探針卡非常安(an)全(quan)

產品優勢：

1、模(mo)塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上(shang)

3、失效分(fen)析 - 探針卡(ka) / 節間探測

4、可靠(kao)性測試 - 熱/ 冷(leng) / 長(chang)時間(jian)測試

5、高(gao)(gao)功率測(ce)試(shi) - 至高(gao)(gao) 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽(bi)環境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽(bi)所設計的精(jing)密量測環境

7、支持飛安級低(di)漏(lou)電值(zhi)量測(ce)

8、支(zhi)持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

TS200-SE

產品介紹：

MPI TS200-SE手(shou)動(dong)探(tan)針測試系統具有(you)很(hen)強的(de)(de)(de)(de)功能(neng)，具有(you)高(gao)度可重(zhong)復性（1µm）的(de)(de)(de)(de)壓板提(ti)升設計，具有(you)用(yong)于安全(quan)，接觸，分(fen)離（300µm）和加(jia)載(zai)（3mm）的(de)(de)(de)(de)三(san)個(ge)離散位置。這些功能(neng)可防止意外的(de)(de)(de)(de)探(tan)針或晶圓損(sun)壞，同時提(ti)供直觀(guan)的(de)(de)(de)(de)控制，準確(que)的(de)(de)(de)(de)觸點定位和安全(quan)設置，附加(jia)的(de)(de)(de)(de)Probe Hover Control™具有(you)懸停高(gao)度（50、100或150 µm），可輕松(song)方便地將探(tan)頭與Chuck對齊。

產品概要：

MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)8英寸探針臺可(ke)提供高級(ji)EMI / RFI /不透光屏(ping)蔽，超低(di)(di)噪聲，低(di)(di)泄漏測量功能。

1、適用于(yu)多種晶圓量測應用，如組(zu)件特(te)性(xing)描述和(he)建(jian)模、射頻和(he)毫米波、晶圓級(ji)可靠性(xing) (WLR) 和(he)失效(xiao)分析(xi) (FA)

2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽(bi)環境，專為(wei) EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽(bi)所設(she)計(ji)的精密量測(ce)環境

3、支援飛安(an)級低漏電量量測

4、溫度量測(ce)范圍 -60 °C 至 300 °C

產品優勢：

1、ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性(xing)能的(de)屏(ping)蔽系統(tong)，可為超低噪聲，低電容測(ce)量(liang)提(ti)供(gong)出色的(de)EMI和(he)不透(tou)光(guang)的(de)屏(ping)蔽測(ce)試環境。

2、ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™的一個完全可配置的部分(fen)，它允許多(duo)(duo)達 4個端(duan)口的RF或(huo)多(duo)(duo)達8個端(duan)口的DC / Kelvin等多(duo)(duo)種組合(he)測試(shi)；

3、空氣軸承