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案例

英鉑科學助力上海XXX所搭建晶圓級高溫高頻電學測試系統返回列表

裝機產品:YB800-A

產品介紹:

YB800-A是200mm手動探針臺系統(tong),可以提(ti)供(gong)準確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量(liang)。

技術優勢:

1、單機多應用設計

•適用(yong)于多種晶(jing)圓/集成電路(lu)/功率器件/光學材(cai)料量(liang)測應用(yong),如射頻(pin)和 DC、IV/CV 測試晶(jing)圓級可(ke)靠性

2、具備工效學設計

•XY 軸微調設計(ji)/Y 軸快速(su)導入導出/載(zai)物臺設計(ji)

•堅(jian)固且可乘(cheng)載(zai)多達 10 支(zhi) DC 或 4 支(zhi) RF 微(wei)定(ding)位(wei)器(qi)的工作臺

•兩段式(shi)工作(zuo)臺快升把手(shou)設計,接觸(contact) - 分(fen)離(li)(loading),實現高可靠性、高效率性

•具(ju)備英鉑科學(xue)儀器(qi)獨有(you)專利技術的氣浮式移動樣品(pin)臺,搭配微(wei)調(diao)千(qian)分尺(chi)

3、彈性(xing)選配(pei)與升級(ji)性(xing)

•另有(you)(you)多種晶圓(yuan)載(zai)物臺可做升級,亦有(you)(you)諸多配(pei)件如 DC/RF/mmW 微(wei)定位器、光(guang)學顯微(wei)鏡、電磁屏蔽箱/防震系統可搭載(zai),以(yi)完全支援您的應用(yong)需求

4、高壓(ya)人機安全防護設計

•Platen 底(di)部特征(zheng)聚合(he)物高壓防護設計(ji)

•Chuck 獨特安全隔離(li)防護設計(ji)

•采用德國 PEEK 雙層高壓防(fang)護(hu)環(huan)套設計的針桿(標(biao)準 SHV Coaxial 接口(kou))通用keithley&keysight 高壓儀表

•紅外感測 interlock 安全互鎖機制

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