英鉑科學助力杭州矽力杰搭建失效分析利器-激光鐳射探針臺返回列表
一、YB800
產品介紹:
YB800是200mm手動探針臺系統,可(ke)以提供(gong)準確可(ke)靠的(de)DC/CV, RF/高(gao)功率(10000V 30A)測量(liang)。
產品優勢:
1、單機多應用設計
•適用于多種晶圓(yuan)/集成電路(lu)/功(gong)率器件/光學材料(liao)量測應(ying)用,如射頻(pin)和(he) DC、IV/CV 測試晶圓(yuan)級可靠性
2、具備工效學設計
•XY 軸(zhou)微調設計/Y 軸(zhou)快速導入導出/載物臺(tai)設計
•堅固且(qie)可(ke)乘(cheng)載多達 10 支 DC 或 4 支 RF 微(wei)定位器的工作臺
•兩(liang)段式工(gong)作臺快升把手設計,接觸(contact) - 分離(loading),實(shi)現高可靠(kao)性(xing)、高效(xiao)率(lv)性(xing)
•具備英鉑科學儀器(qi)獨(du)有專利技術的氣浮式移動樣品(pin)臺,搭配(pei)微調千分尺
3、彈(dan)性(xing)選配與升(sheng)級性(xing)
•另有多(duo)種晶圓載(zai)物臺可(ke)做升級(ji),亦有諸多(duo)配件如 DC/RF/mmW 微(wei)定位(wei)器、光學顯(xian)微(wei)鏡、電磁屏蔽箱/防震系統可(ke)搭載(zai),以完全(quan)支援您的應(ying)用需求(qiu)
4、高壓人機安全防護設計(ji)
•Platen 底(di)部特(te)征聚合物高(gao)壓防護設(she)計
•Chuck 獨特安全隔離(li)防護設計(ji)
•采用德國 PEEK 雙層高壓(ya)防護環(huan)套設計的(de)針(zhen)桿(標準 SHV Coaxial 接口)通(tong)用keithley&keysight 高壓(ya)儀表
•紅(hong)外感測 interlock 安全(quan)互鎖機制(zhi)
二、激光鐳射
產品特色:
•All In One design removes the power supply and umbilical
•Air-cooled,Compact,No maintenance needed
•3 Operating modes: Single shot,Continuous (1 Hz), Burst (max. of 100 pulses at 5 Hz.)
•Wavelengths Selectable for 1064 nm,532 nm, 355 nm or 266 nm
•Cutting size from 1µm x 1µm (under 100X objective) to 50µm x 50µm (under 50X objective).o'o'o'o
•Simple communication via USB or remote control box
•Precise energy control with >1000 steps
•Optional Internal CCD camera
•Internal LED or External Whitelight spot marker
•Mountable on most Failure Analysis microscopes
功能介紹:
1、半導體失效分析
2、LCD Repair
3、微米級鐳射加工
4、Resist Trimming
5、激光mark和激光切割(ge)
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