英鉑科學助力上海禾賽科技搭建6寸晶圓級電學測試系統返回列表
產品介紹:
YB600-A是150mm手(shou)動探針臺系統,可以(yi)提供準(zhun)確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。
產品優勢:
1、單機多應用設計
•適用(yong)于(yu)多種(zhong)晶圓(yuan)/集(ji)成電路(lu)/功(gong)率器件/光學(xue)材料(liao)量測(ce)應用(yong),如射頻和 DC、IV/CV 測(ce)試晶圓(yuan)級(ji)可靠性
2、具備工效學設計
•XY 軸微(wei)調設計/Y 軸快速導入導出/載(zai)物臺設計
•堅(jian)固且可乘載多達(da) 10 支 DC 或(huo) 4 支 RF 微定(ding)位器的工(gong)作臺
•兩段式工作臺快(kuai)升把手設計,接(jie)觸(chu)(contact) - 分離(loading),實現(xian)高可靠(kao)性、高效率性
•具備英鉑(bo)科學儀器(qi)獨有專(zhuan)利技術的氣浮式移動(dong)樣品臺,搭配微(wei)調千(qian)分尺
3、彈性(xing)選配與升級性(xing)
•另有多(duo)種(zhong)晶圓載物臺可做(zuo)升級,亦(yi)有諸多(duo)配件如(ru) DC/RF/mmW 微(wei)定(ding)位器、光學顯(xian)微(wei)鏡、電磁(ci)屏蔽箱/防(fang)震系統可搭載,以(yi)完(wan)全支援您的應用需求
4、高壓人(ren)機(ji)安(an)全防護設(she)計
•Platen 底部特征聚合物高壓(ya)防護(hu)設計(ji)
•Chuck 獨特安全(quan)隔離防護設計
•采用德(de)國 PEEK 雙(shuang)層高(gao)壓防護環(huan)套設計的(de)針(zhen)桿(標(biao)準 SHV Coaxial 接(jie)口)通用
•keithley&keysight 高壓儀表,紅外感測 interlock 安全互鎖機制