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案例

英鉑科學攜手RKD助力嘉興X達半導體公司搭建酸性開封系統返回列表

裝機產品:RKD酸開封機

產品介紹:

RKD的Elite Etch Cu是一臺可為銅線開(kai)(kai)封(feng)的化(hua)學開(kai)(kai)封(feng)機,通過(guo)集(ji)成了先(xian)進的特點來實(shi)現更(geng)高的產能(neng)。這臺開(kai)(kai)封(feng)機可以通過(guo)將精密分配微(wei)等分的硝酸(suan)、硫酸(suan)或混酸(suan)到樣品(pin)器件上,可開(kai)(kai)封(feng)直徑為0.8mil銅線的塑封(feng)料。

產品概要:

每(mei)一(yi)次微等(deng)分的(de)(de)酸被(bei)輸送到刻蝕腔內,由于泵(beng)產生(sheng)的(de)(de)足夠大的(de)(de)壓力將會(hui)創造出非常大的(de)(de)湍流,可以極大的(de)(de)提高封裝材料(liao)的(de)(de)去除效(xiao)率(lv)。對酸溫度的(de)(de)精密控制,并(bing)結合更高的(de)(de)分配效(xiao)率(lv)使得對于銅線器件(jian)的(de)(de)開封不會(hui)產生(sheng)引線或金(jin)屬化損傷(shang)。

特殊設計的(de)(de)酸(suan)熱交換器能夠在高達(da)8ml每(mei)分鐘的(de)(de)流量內(nei)精的(de)(de)確將酸(suan)溫度(du)控(kong)制在10℃到(dao)250℃范圍內(nei)。即使是在低溫度(du)時,高的(de)(de)酸(suan)脈(mo)沖率也能獲得合(he)理(li)的(de)(de)刻蝕(shi)時間。

產品優勢:

1、Elite Etch Cu配(pei)置了一個(ge)酸(suan)控(kong)制(zhi)器刻(ke)蝕(shi)頭(tou),它是由優(you)質碳化(hua)硅材料制(zhi)造的(de),具(ju)有(you)很強的(de)耐酸(suan)性。刻(ke)蝕(shi)頭(tou)設計用于(yu)(yu)降低在開封工藝結束(shu)時殘(can)留在刻(ke)蝕(shi)頭(tou)上殘(can)留酸(suan)的(de)煙化(hua)現象,對于(yu)(yu)操作員更加安全,并且對酸(suan)的(de)清潔也(ye)更方便。

2、Elite Etch Cu 在瓶(ping)子(zi)容(rong)器(qi)(qi)和(he)(he)開封器(qi)(qi)之間的(de)所有流(liu)體接(jie)口都(dou)采(cai)用(yong)雙(shuang)重密封。瓶(ping)子(zi)容(rong)器(qi)(qi)組(zu)件和(he)(he)刻蝕機內部(bu)都(dou)配置了流(liu)體傳(chuan)感器(qi)(qi),如果出現任何酸(suan)(suan)瓶(ping)或內部(bu)裝置的(de)酸(suan)(suan)泄漏,都(dou)會立即向操作(zuo)員發出漏酸(suan)(suan)警 報。瓶(ping)子(zi)容(rong)器(qi)(qi)采(cai)用(yong)了通用(yong)的(de)旋(xuan)轉(zhuan)互聯,使(shi)得酸(suan)(suan)瓶(ping)更換非(fei)常(chang)簡(jian)單,盡(jin)量避免接(jie)觸殘酸(suan)(suan)。

 

3、單獨的手(shou)持式(shi)鍵(jian)盤控(kong)制,可以在通風廚(chu)外面 進行控(kong)制避免酸對(dui)控(kong)制面板和(he)電路的腐(fu)蝕。

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