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案例

英鉑科學攜MPI助中科大上海研究院搭建半自動高低溫系統返回列表

裝機產品:MPI TS2000-SE

產品介紹:

MPI的TS2000-SE/8寸(cun)半自(zi)動探針(zhen)臺是具(ju)有創新功能的200mm自(zi)動化晶(jing)圓測試系統(tong),其包含(han)獨特的側面自(zi)動裝(zhuang)卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲(sheng)環境。

特色功能(VCE):

MPI的TS2000-SE/8寸半自(zi)動探針臺發布新(xin)功能(neng),側面帶有(you)VCE,可完美解放您(nin)的雙手,實現精準定(ding)位,完成自(zi)動扎針,使測(ce)試過程更加方便快(kuai)捷。

產品概要:

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是(shi)一(yi)個高性能的(de)微屏蔽暗箱,可為超低(di)噪聲,低(di)電容測量提(ti)供(gong)出色的(de)EMI和不(bu)透(tou)光的(de)屏蔽測試環境(jing)

2、自動化晶圓裝載系統

該功能提供了非常方(fang)便的(de)(de)晶(jing)圓(yuan)裝(zhuang)載,并且易于針(zhen)對(dui)自動程序進(jin)行預對(dui)準,可支(zhi)持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的(de)(de)晶(jing)圓(yuan),針(zhen)對(dui)高(gao)低溫環境(jing)下(xia)可提高(gao)測試(shi)效率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系列(lie)探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技(ji)術和自(zi)我管理(li)系統,可使用回收的冷卻空(kong)氣(qi)吹掃MPI ShielDEnvironment,可大幅減少30%至(zhi)50%的空(kong)氣(qi)消耗

4、側視影像(xiang)系(xi)統(tong)(VCE)

借(jie)助MPI8寸探(tan)針(zhen)臺(tai)獨特的自動側視(shi)– VCE影像系統可視(shi)化的觀察探(tan)針(zhen)針(zhen)尖與樣品之間的接觸,使用DC或(huo)RF等探(tan)針(zhen)卡非(fei)常(chang)安(an)全

產品優勢:

1、模塊(kuai)量(liang)測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分(fen)析 - 探(tan)(tan)針卡 / 節間探(tan)(tan)測

4、可(ke)靠性測試 - 熱(re)/ 冷 / 長時間測試

5、高(gao)功率(lv)測試 - 至高(gao) 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境,專(zhuan)為(wei) EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精(jing)密量測環境

7、支持飛安級低(di)漏(lou)電值量(liang)測

8、支持(chi)溫度(du)范圍 -60 °C 至(zhi) 300 °C

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